בתהליך הליתוגרפיה, שלב החימום אינו רק הפסקה בתהליך – הוא למעשה אמצעי לשליטה בתהליך. אם החימום אינו אחיד, זה יגרום לשינויים בעובי השבב, לגלים סטטיים ולירידה באיכות המוצר. עיצבנו את מנורות החימום שלנו כך שיוכלו לוודא שהחימום יהיה אחיד.
העיקר הוא שליטה תרמית מדויקת, ישירות ברמת השבב. רכיבי הלוגן בתדרים נמוכים ובינוניים, בשילוב עם אופטיקה מקוורץ ומחזירי אור מיוחדים, מאפשרים תגובה תרמית מהירה ואחידה. בכל שטח החימום, אנו שומרים על אחידות בטמפרטורה של ±0.1°C.
ומה לגבי חדר הניקיון? המערכת תואמת לתקני חדרי ניקיון מסוג 1–100, בזכות שימוש בחומרים שאינם פולטים גזים, ועיצוב שמונע יצירת חלקיקים במהלך הפעולה. התוצאה היא טמפרטורת חימום קבועה, שניתן לתעד, לבדוק ולהעביר בין מכונות שונות בצורה קלה.
ייצור שבבים דורש יציבות. כך ניתן להשיג אחידות בין המוצרים השונים, להפחית את כמות הפסולת ואת הצורך בעבודה חוזרת. צריכת האנרגיה פוחתת, מכיוון שהמנורה מגיעה לטמפרטורה הרצויה במהירות ושומרת עליה, כך שאין צורך באנרגיה נוספת. במפעלים בעלי קיבולת גבוהה, יציבות זו מאפשרת לייצור להמשיך לפעול, להפחית את העלויות לכל שבב, ולשמור על אחידות באיכות המוצרים.
נקודה חשובה: שמירה על אחידות של ±0.1°C דורשת שיתוף פעולה הדוק בין מערכת השליטה בטמפרטורה לבין מערכת השליטה בשבב. התאמת פלט המנורה לתפריט התרמי של המכונה אינה אופציונלית.
צפו לזמן התקנה קצר, כדי להתאים את ההגדרות, החיישנים ושיטות החימום. לאחר ההתאמה, המערכת יכולה לפעול 24/7 ללא הפסקות – אך ההתאמה הראשונית היא חלק מתהליך ההתקנה.