ברצפת הייצור, פרופילי אפיית הפוטורזיסט מסתכמים בדבר אחד: יציבות מערך הנורות. אם אפיית ה-soft bake תסטה אפילו ב-0.5°C, בקרת ה-CD תיפגע. אם אפיית ה-hard bake תסטה ב-1.0°C תופיע סקומינג ושאריות. בנינו רגולטור SCR להנורה כדי שתוכל לשמור על החלונות האלו—יציב, משמרת אחרי משמרת.
מה שחשוב, מבחינה טכנית
הרגולטור משתמש בטופולוגיית Silicon-Controlled Rectifier עם חישה סגורה של הזרם. אתה מקבל דיוק של 0.1% בהספק ואחידות טמפרטורה יציבה של ±0.1°C לאורך מעטפת הנורה. הוא תומך בנורות הלוגן, קוורץ, גלים קצרים, גלים בינוניים, ונורות סיבי פחמן/NIR, במתח של 24 V עד 480 V, ומגיע עם ממשקי 2-חוט ו-4-חוט סטנדרטיים כדי שתוכל לשלב אותו ישירות בצלחות אפייה ובכלי ריפוי במערכת wafer track. בנייה ללא חלקיקים ועמידות לתנאי Class 1–100 בחדר נקי שומרות על ספירת חלקיקים יציבה במהלך מחזורי האפייה/הריפוי.
הסיבה שהוא מתאים לליתוגרפיה ועיבוד פוטורזיסט היא שאתה חייב להגיע לטמפרטורות אפייה חוזרות ונשנות כדי לשמור על ה-CD במטרות ולהימנע מפסולת בקו הייצור. הרגולטור הזה מקבע את פלט הנורה, כך שתקציב החום נשמר במפרט. התוצאה היא חלון תהליך מדויק יותר ומספר מופחת של אצוות לתיקון.
תבחין בזה גם בצריכת האנרגיה. הבקר מונע עלייה מעבר לנקודת הסט, ושומר עליה ללא מחזורי הפעלה, מה שמפחית את הצריכה. ראינו יחידות פועלות מעל 5,000 שעות עם ירידה בפלט של פחות מ-5%—פחות החלפות נורות ותחזוקה מתוכננת.
כמה הערות מעשיות. היחידה מתוכננת כ-equivalent מאומת לתקני ציוד לייצור מוליכים למחצה בינלאומיים, אך מסלול החיווט אינו זהה למגעים מכניים ישנים. צפה לשלב איתור קצר להתאמת המסה התרמית וכיול PID עבור קומבינציית הנורה וצלחת האפייה שלך.
עשו לעצמכם טובה והקימו מסלול הארקה ייעודי עם כבל מגן. זה שומר על הפרעות אלקטרומגנטיות מחוץ לאזורי מדידה רגישים, שבהם רעש עלול להזיק לתהליך.