دیگر نباید منتظر عملکرد بهتر بخاریهای معمولی باشید؛ واقعیت استفاده از بخاریهای مبتنی بر امواج مادون قرمز در شرایط خلأ چیست؟
اگر هنوز از سیستمهای گرمایشی مبتنی بر جریان هوای گرم برای فرآیندهای تولید نیمههادی استفاده میکنید، در واقع در حال مبارزه با زمان هستید.
مشکل اینجاست که در شرایط خلأ، هیچ هوایی برای حرکت وجود ندارد؛ بنابراین نمیتوانید گرما را مستقیماً به روی ویفر اعمال کنید. اینجاست که بخاریهای مبتنی بر امواج مادون قرمز کمک میکنند؛ آنها به جای گرم کردن کل اتاق، از تشعشعات الکترومغناطیسی برای گرم کردن مستقیم ویفر استفاده میکنند.
این روش، روش کاملاً متفاوتی برای مدیریت گرماست.
هزینههای پنهان «انتظار»
همه ما تجربه این را داشتهایم: سیستم گرمایشی را روشن میکنیم و سپس منتظر میمانیم؛ باید ابتدا هوا، سپس دیوارههای اتاق، و در نهایت خود قطعه را گرم کنیم. این فرآیند بسیار آهسته است.
اما بخاریهای مبتنی بر امواج مادون قرمز چنین نیستند؛ آنها تقریباً بلافاصله گرما را به روی ویفر اعمال میکنند. منظورم میلیثانیههاست.
فکر کنید که این موضوع چه تأثیری بر کار شما دارد؛ اگر بتوانید زمان لازم برای گرم شدن ویفر را از ۱۰ دقیقه به ۳۰ ثانیه کاهش دهید، بهرهوری شما بالا خواهد رفت. شما میتوانید در هر ساعت کار بیشتری انجام دهید، بدون اینکه نیاز به خرید تجهیزات بیشتری یا فضای بیشتری در آزمایشگاه داشته باشید.
تنظیم صحیح تجهیزات
البته، نمیتوانید هر بخاری را در شرایط خلأ استفاده کنید؛ برای این کار، به تجهیزات مناسب نیاز دارید. ما معمولاً از غلافهای کوارتزی و درزبندهای با خلوص بالا استفاده میکنیم. چرا؟ چون وجود ناخالصیها میتواند باعث خرابی ویفر شود.
اما یک مشکل دیگر نیز وجود دارد؛ لامپهای مبتنی بر امواج مادون قرمز سریع هستند، اما میتوانند باعث ایجاد گرمای شدید شوند. اگر سطح قطعه نتواند این گرمای شدید را تحمل کند، ممکن است تغییر شکل دهد. برای جلوگیری از این اتفاق، به یک کنترلکننده PID نیاز دارید تا بتوانید میزان توان لامپ را تنظیم کنید.
توازن بین سرعت و کیفیت
البته، بخاریهای مبتنی بر امواج مادون قرمز راهحل جادویی برای همه کارها نیستند. اگر قطعه شما شکل عجیبی داشته باشد، سوراخهای عمیقی داشته باشد یا ساختار پیچیدهای داشته باشد، نور مادون قرمز نمیتواند به تمام نقاط قطعه برسد. در این صورت، برخی نقاط گرم خواهند شد و برخی دیگر همچنان سرد خواهند ماند. بنابراین باید زمانی را صرف تنظیم توزیع گرما در قطعه کنید.
البته، استفاده از هوای مکانیکی سرعت کمتری دارد، اما قابلیت تحمل بیشتری دارد؛ چون هوا میتواند از تمام سطوح قطعه عبور کند.
اما اگر با قطعات صاف کار میکنید و به سرعت بالا نیاز دارید، بخاریهای مبتنی بر امواج مادون قرمز تنها راه حل هستند.