در فضای تولیدی، حتی اختلاف دمایی جزئی به میزان ۱.۲ درجه سانتیگراد میتواند باعث شود که پروفایل فوتورزیست، که باید در محدوده استانداردها قرار داشته باشد، از کار بیفتد. ما هیترهای مادون قرمز مخصوص فضاهای تمیز را طراحی کردهایم تا این نوسانات را از بین ببرند. این هیترها برای شرایط تولید نیمههادیها مناسب هستند؛ جایی که میزان گرمای تولید شده ثابت است و تعداد ذرات نیز باید در حد چند رقم باشد.
آنچه واقعاً اهمیت دارد: ما از فرستندههای مادون قرمز با پاسخگویی سریع و کنترل طیفی دقیق استفاده میکنیم؛ تا بتوانیم یکنواختی دما روی سطح ویفر را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ کنیم. تکرارپذیری دما نیز در هر چرخه، در همان محدوده باقی میماند؛ این امر باعث میشود ابعاد مهم در فرآیند لیتوگرافی ثابت بماند. طراحی این هیترها برای فضاهای تمیز مناسب است؛ ساختار بسته فرستندهها و استفاده از موادی که گاز کمی تولید میکنند، باعث میشود تعداد ذرات در محیطهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ نیز کنترل شود. شما میتوانید از قابلیتهای این هیترها در طول ۲۴ ساعت شبانهروز استفاده کنید، بدون هیچ توقف غیرمنتظرهای؛ همچنین مصرف انرژی این هیترها کمتر از هیترهای معمولی است، زیرا ما مقدار زیادی از جرم را گرم نمیکنیم.
فرآیند فوتورزیست، صرفاً مربوط به گرم کردن نیست؛ بلکه یک فرآیند دقیق از نظر حرارتی است. با استفاده از این هیتر، ما میتوانیم دما را به سرعت به سطح فیلم برسانیم، سپس دما را در طول فرآیند گرم کردن حفظ کنیم و در نهایت دما را به آرامی کاهش دهیم. نتیجه این کار، حذف یکنواخت حلال، ضخامت پایدار فیلم و کنترل قابل پیشبینی ابعاد فیلم خواهد بود.
همچنین، شما نیازی نیست بین عملکرد حرارتی و کنترل آلودگی ترجیح دهید؛ سازگاری این هیترها با فضاهای تمیز، باعث میشود فرآیند تولید بهتر شود، تعداد کارهای تکراری کاهش یابد و بازدهی تولید افزایش یابد؛ بدون نیاز به تغییر در فرآیندهای شیمیایی یا زمانبندی فرآیند.
قبل از خرید این هیترها، چند نکته مهم وجود دارد: نصب این هیترها نیازمند تطابق با مشخصات فضای تولیدی و تنظیم صحیح موقعیت فرستندهها نسبت به مسیر ویفر است؛ اگر قصد تعمیرات روی سیستم موجود را دارید، باید کمی تغییراتی در طراحی سیستم ایجاد کنید. این هیترها تنها زمانی میتوانند عملکرد مورد نظر را داشته باشند که جریان هوا، سیستم تخلیه گاز و تمیزی سطوح مناسب باشد.
همچنین، باید یک مسیر برق جداگانه برای این هیترها در نظر بگیرید و ولتاژ محیط را نیز از قبل بررسی کنید؛ کاهش ولتاژ میتواند باعث عدم پایداری دما و کاهش یکنواختی فیلم شود. ما رابط کنترل لازم را نیز فراهم میکنیم تا ادغام این هیترها در سیستم تولید، آسان و قابل تکرار باشد.