In der Lithografie-Produktion ist die Trocknungsphase keine Pause – sie stellt vielmehr eine Kontrollfunktion dar. Wenn die Trocknung nicht gleichmäßig erfolgt, hat das Auswirkungen auf die Dicke des Fotoleits, auf die Entstehung von Resonanzwellen sowie auf die Gesamtwirkung des Verfahrens. Wir haben unsere Lampen dafür entwickelt, diese Unregelmäßigkeiten auszuschließen.
Der Schlüssel dazu liegt in der präzisen Temperaturregelung direkt auf der Wafer-Oberfläche. Kurzwellige und Mittelwellenhalogenlampen in Kombination mit Quarzoptiken sowie speziell entwickelten Reflektoren sorgen für eine schnelle und reproduzierbare Temperatursteuerung. Auf der gesamten Trocknungsfläche wird eine Homogenität von ±0,1 °C gewährleistet.
Was die Reinraumbedingungen angeht: Die Kompatibilität mit Reinräumen der Klasse 1–100 wird durch Materialien mit geringer Gasemission sowie ein Design, das während des Betriebs keine Partikel erzeugt, erreicht. Dadurch kann die Trocknungstemperatur genau überwacht und zwischen verschiedenen Maschinen übertragen werden.
In der Halbleiterproduktion ist Stabilität entscheidend. Dadurch wird eine wiederholbare Produktionsqualität gewährleistet, es entstehen weniger Ausschusswaren und weniger Retouren. Zudem wird der Energieverbrauch reduziert, da die Lampe schnell auf die gewünschte Temperatur kommt und diese auch behält – ohne Überschreitung der Zieltemperatur. In Großserienfabriken sorgt diese Stabilität dafür, dass die Produktion weiterläuft, die Kosten pro Wafer sinken und die Qualität konstant bleibt.
Ein praktischer Hinweis: Eine Homogenität von ±0,1 °C setzt eine enge Integration mit dem Controller der Heizplatte sowie dem Waferständer voraus. Es ist daher unerlässlich, die Leistung der Lampe an das thermische Profil der Maschine anzupassen.
Man sollte mit einer kurzen Einrichtungszeit rechnen, um die erforderlichen Einstellungen, Sensoren sowie Trocknungsprozesse zu justieren. Sobald das System kalibriert ist, kann es rund um die Uhr ohne Stillstände arbeiten – doch diese Anpassungen gehören zur Installation selbst.