Na povrchu čipů nejsou profily zahřívání fotorezisty volitelné – jedná se o klíčový faktor pro dosažení kvalitních výsledků při výrobě čipů. Odchylka o 2 °C při měkkém nebo tvrdém zahřívání může ovlivnit kritické rozměry čipů a způsobit problémy s jejich povrchem. Naše infrazářivé svítidla jsou navržena právě pro tento účel – aby zajistila termální stabilitu tam, kde to čipové nástroje nejvíce potřebují.
Z technického hlediska je důležité to samé, co je důležité i v samotné výrobní lince.
Kombinujeme emitory s krátkovlnným a střednovlnným spektrem s křemíkovými komponentami, abychom dosáhli rychlého, směrového zahřívání a dlouhé životnosti svítidel. Cílem je dosáhnout termální jednotnosti na úrovni čipů v rozmezí ±0,1 °C po celé ploše expozice, přičemž opakovatelnost mezi jednotlivými cykly zůstává v rozmezí ±0,5 °C. Stabilita výstupního signálu je specifikována jako 2 % odchylka během 5 000 hodin provozu. Balení je navrženo pro nepřetržitý provoz 24/7, s možnostmi konektorů a montáže odpovídajícími běžným čipovým nástrojům.
Právě proto fungují tato svítidla efektivně v procesu litografie.
Svateloznak udržuje teplotu fotorezistu v požadovaném rozmezí, bez nadměrného zahřátí. Kompatibilita s prostředím třídy 1–100 pramení z použití materiálů s nízkou úrovní emisí plynů a designu, který kontroluje počet částic – takže počet částic neovlivňuje kvalitu výsledku. Infrazářivá světla zahřívají fotorezist přímo, takže se šetří teplo určené k ohřevu ostatních prvků a snižuje se spotřeba energie. Menší počet výměn světel znamená méně neplánovaných přestávek v provozu, a konzistentní profily zahřívání pomáhají kontrolovat rovnoměrnost povrchu čipů.
Několik praktických poznámek:
Přizpůsobte spektrum emitora citlivosti vašeho fotorezistu a zarovnejte ohniskovou rovinu světla s rovinou čipu. Nesoulad se projeví jako nerovnoměrné zahřívání čipu. Během začínání provozu dochází k krátkodobému zahřátí – zařaďte to do sekundy spuštění stroje. Ujistěte se, že napětí a logika interakcí vašeho nástroje odpovídají specifikacím světla; nesoulady v zapojení zkracují životnost světel a mohou způsobit bezpečnostní problémy.