Na výrobní hale se profily vypalování fotorezistu redukují na jednu věc: stabilitu lampového pole. Pokud se váš soft bake změní o pouhých 0,5 °C, kontrola CD se zhorší. Nechte hard bake poskočit o 1,0 °C a objeví se scumming a zbytky. Vyvinuli jsme SCR regulátor výkonu pro lampu, abyste mohli tyto okna udržet – stabilní, směnu za směnou.
Co je technicky podstatné
Regulátor využívá topologii s křemíkovým řízeným usměrňovačem (SCR) s uzavřenou smyčkou měření proudu. Získáte rozlišení výkonu 0,1 % a ±0,1 °C stálou teplotní uniformitu v celé lampové obálce. Podporuje halogenové, křemenné, krátkovlnné, středněvlnné a uhlíková/NIR vlákna, od 24 V do 480 V, a je vybaven standardními 2drátovými i 4drátovými rozhraními, takže jej můžete přímo zapojit do vypalovacích desek wafer track a vypalovacích zařízení. Konstrukce bez částic a kompatibilita s čistými prostory třídy 1–100 zachovávají konstantní počet částic během vypalovacích a vytvrzovacích cyklů.
Důvod, proč se hodí pro litografii a zpracování fotorezistu, je následující: je nutné dosáhnout opakovatelných teplot vypalování, aby se udržela přesnost CD a minimalizoval odpad. Tento regulátor fixuje výkon lampy, takže váš tepelný rozpočet zůstává v toleranci. Výsledkem je užší výrobní okno a méně dávek k přepracování.
Zaznamenáte to i na energetické spotřebě. Řídící jednotka se vyhýbá překmitům a drží nastavenou hodnotu bez cyklování, takže spotřeba klesá. Viděli jsme jednotky běžet více než 5 000 hodin s poklesem výkonu menším než 5 % – méně výměn lamp a plánovatelná preventivní údržba.
Několik praktických poznámek. Zařízení je navrženo jako ověřený ekvivalent mezinárodních standardů polovodičového vybavení, ale zapojení není stejné jako u starších mechanických kontaktorů. Počítejte s rychlým uvedením do provozu pro sladění tepelné hmoty a doladění PID regulace pro vaši kombinaci lampy a vypalovací desky.
Doporučujeme vést samostatnou zemnící cestu se stíněným kabelem. To zabraňuje pronikání EMI do citlivých metrologických zón, kde může šum ovlivnit výsledky.