http://warm-ir-heater-supply.com/zh/tags/%E4%B8%80%E8%87%B4%E6%80%A7/ Recent content in 一致性 on Warm IR Heater Supply Co. Hugo zh Tue, 23 Jun 2026 12:42:48 +0800 http://warm-ir-heater-supply.com/zh/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ Tue, 23 Jun 2026 12:42:48 +0800 http://warm-ir-heater-supply.com/zh/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-supply.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="均匀性光刻胶烘烤灯"></p> <p><a href="https://henruite.com">在光刻工艺</a>中，烘烤步骤并非简单的暂停操作，而是一种可精确控制的环节。如果烘烤过程不够均匀，那么就会导致晶圆厚度不均、产生驻波现象，进而降低成品率。我们设计的光刻胶烘烤灯，就是为了消除这些不确定性。</p> <p>其核心在于对晶圆表面的精准温度控制。通过使用短波和中等波长的卤素元件，再结合石英光学元件以及精心设计的反射器，可以实现快速且稳定的温度控制。在烘烤过程中，我们能够将晶圆表面的温度控制在±0.1°C以内。</p>