http://warm-ir-heater-supply.com/vi/tags/%E1%BA%A3nh-kh%C3%A1ng/ Recent content in Ảnh Kháng on Warm IR Heater Supply Co. Hugo vi Sun, 07 Jun 2026 01:06:26 +0800 http://warm-ir-heater-supply.com/vi/posts/photoresist-baking-lamp/ Sun, 07 Jun 2026 01:06:26 +0800 http://warm-ir-heater-supply.com/vi/posts/photoresist-baking-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-supply.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Đèn nướng photoresist"></p> <p>Trên nền <a href="https://goldisgood.com">lithography</a>, quá trình nướng mềm và nướng cứng không chỉ là các bước—chúng là những cái bắt tay nhiệt. Sự trôi lệch nửa độ làm thay đổi độ lệch CD, và một điểm nóng có thể in ra một khiếm khuyết theo wafer dẫn đến tổn thất năng suất. Chúng tôi đã chế tạo đèn nướng <a href="https://o-yate.com">photoresist</a> của mình để giữ ngân sách nhiệt ở mức mà quy trình cần.</p> <p>Cốt lõi là hồng ngoại chọn lọc theo bước sóng, được cung cấp bởi các bộ phát quartz sóng ngắn và sóng trung được điều chỉnh theo khả năng hấp thụ của photoresist. Điều này có nghĩa là gia nhiệt nhanh chóng, trực tiếp đến photoresist với độ đồng nhất ở mức wafer là ±0.1°C trên bề mặt nướng. Độ lặp lại nhiệt độ đạt ±0.2°C từ lô này sang lô khác, vì vậy cùng một đặc tính nhiệt được áp dụng cho mọi wafer.</p>