Ngăn chặn tình trạng bóng đèn nổ gây hư hại cho các wafer
Trong khu vực rửa chip bán dẫn, việc bóng đèn nổ không chỉ gây ra những phiền toái nhỏ mà còn có thể khiến toàn bộ quy trình sản xuất bị gián đoạn. Khi ống thủy tinh chứa sợi钨 bị vỡ dưới áp lực lớn, những mảnh thủy tinh và sợi钨 sẽ rơi trực tiếp xuống các wafer. Điều này sẽ khiến toàn bộ lô sản phẩm bị hư hại. Chúng tôi đã thiết kế những bóng đèn hồng ngoại chống nước để ngăn chặn tình trạng này xảy ra.
Tại sao bóng đèn lại bị vỡ?
Môi trường rửa chip thực sự rất khắc nghiệt. Các nguồn nhiệt công suất cao được đặt cách mặt nước chỉ vài centimet. Nhiệt độ thay đổi liên tục. Nếu một giọt nước rơi vào ống thủy tinh nóng bỏng, nó có thể vỡ ngay lập tức. Để ngăn chặn điều này, chúng tôi bọc bóng đèn trong lớp vật liệu chống nước đặc biệt, giúp ngăn nước và nhiệt độ tiếp xúc với bóng đèn.
Ngăn chặn sự ô nhiễm
Chúng tôi không chỉ đơn giản bọc kín hai đầu bóng đèn mà còn tập trung vào việc kiểm soát sự ô nhiễm. Nếu sợi钨 bị cháy hoặc ống bên trong bị vỡ, lớp vỏ bảo vệ bên ngoài sẽ giữ lại tất cả các mảnh vụn. Bạn không cần lo lắng về việc các mảnh thủy tinh nhỏ xâm nhập vào các wafer nữa. Vì chúng tôi sử dụng vật liệu có độ tinh khiết cao để làm lớp vỏ bảo vệ, nên nhiệt độ vẫn có thể truyền qua được. Bạn vẫn có thể duy trì nhiệt độ cần thiết mà không ảnh hưởng đến quy trình rửa chip.
Những điều cần lưu ý
Không có gì là hoàn hảo cả. Việc thêm lớp bảo vệ sẽ gây ra chút chậm trễ trong việc gia nhiệt. Bạn sẽ cần điều chỉnh các thông số PID để duy trì nhiệt độ mong muốn. Ngoài ra, hãy kiểm tra các chi tiết kín của bóng đèn mỗi 500 giờ một lần. Nếu các chi tiết kín bị hỏng, hơi ẩm sẽ xâm nhập vào bên trong, và bạn lại phải đối mặt với nguy cơ hư hại do nhiệt độ cao. Hãy sử dụng dây dẫn chịu nhiệt cao để tránh tình trạng các đầu nối bị chảy khi nhiệt độ tăng lên.