اپنے ویکیوم چیمبر کو گرم نہ کریں۔
جو لوگ سیمی-فاب روم میں کام کرتے ہیں، وہ اس مشکل کو اچھی طرح جانتے ہیں۔ آپ کو ویفر کو گرم کرنا ہوتا ہے، لیکن آپ یہ بھی نہیں چاہتے کہ اس عمل میں پورا آلہ ہی خراب ہو جائے۔
مسئلہ یہ ہے کہ معمولی IR لیمپ دراصل بہت زیادہ حرارت پیدا کرتے ہیں؛ یہ حرارت ہر سمت میں پھیل جاتی ہے۔ اس توانائی کا بہت بڑا حصہ ویفر تک نہیں پہنچتا، بلکہ سیدھا ویکیوم چیمبر کی دیواروں پر ٹکراتا ہے۔
جب یہ دیواریں اتنی حرارت کو جذب کرنے لگتی ہیں، تو صورتحال خراب ہو جاتی ہے۔ اس سے سیلز خراب ہو جاتے ہیں، اور مشین کے آس پاس کھڑے لوگوں کو بھی خطرہ لاحق ہو جاتا ہے۔
حرارت کو صحیح جگہ پر پہنچانا
ہم اس مسئلے کو “ڈائرکشنل IR” کے ذریعے حل کرتے ہیں۔ ہم صرف کوارٹز ٹیوب استعمال کرنے کے بجائے ریفلیکٹرز اور خاص کوٹنگز کا استعمال کرتے ہیں، تاکہ توانائی بالکل وہیں پہنچ جائے جہاں اس کی ضرورت ہے، یعنی ویفر پر۔
اس طرح حرارت کی شدت کم ہو جاتی ہے، اور وہ “غیرضروری” توانائی مشین کے باقی حصوں میں نہیں جاتی۔ نتیجے کے طور پر، ویفر کو درکار حرارت مل جاتی ہے، جبکہ دیواریں ٹھنڈی رہتی ہیں۔ اس کے علاوہ، کولنگ واٹر سسٹم کو بھی اتنی محنت نہیں کرنی پڑتی۔
مشکلات اور ان سے نمٹنے کا طریقہ
یہ کوئی ایسا عمل نہیں جسے بس شروع کرکے بھول جایا جائے۔ یہاں درستگی بہت اہم ہے۔
اگر لیمپ چند ملی میٹر کے فرق سے بھی غلط جگہ پر ہو، تو ویفر پر گرم نقاط پیدا ہو جاتے ہیں۔ یہ تونکی فلموں کی تیاری یا ایچنگ کے لئے بہت خطرناک ہے، کیونکہ نتائج یکساں نہیں ہوں گے۔ یہ تو ملی میٹر کا کھیل ہے۔
ہم عموماً زیادہ واٹیج استعمال کرتے ہیں، تاکہ عمل تیزی سے ہو سکے۔ لیکن یاد رکھیں کہ زیادہ پاور کا مطلب یہ ہے کہ فلامنٹ زیادہ گرم ہو جائے گا۔ لہذا یقین کریں کہ آپ کا پاور سپلائی سسٹم اس ابتدائی بوجھ کو برداشت کر سکتا ہے، تاکہ بریکرز نہ ٹوٹ جائیں۔
ورکشاپ کو محفوظ رکھنا
آخر میں، یہ صرف بجلی کی بچت کا معاملہ نہیں ہے… بلکہ یہ تو ان لوگوں کی حفاظت کا معاملہ ہے جو اس مشین کو چلاتے ہیں۔
جب چیمبر کی دیواریں اتنی حرارت کو جذب نہیں کرتیں، تو مشین کی باہری سطح کا درجہ حرارت ایسا رہتا ہے کہ اسے ہاتھ لگایا جا سکتا ہے۔ اس طرح، کسی کو بھی مرمت یا ویفر تبدیل کرنے کے دوران جلنے کا خطرہ نہیں رہتا۔
اس طرح، خطرناک اور غیرقابو پانے والی حرارت کو ایک قابو میں رکھا جا سکتا ہے۔