300 ملی میٹر لائن پر، اگر کوئی FOUP ویٹ بینچ سے باہر نکلتے وقت اس پر مائکروسکوپیک سطح پر پانی کے داغ ہوں، تو اس سے پوری بیچ کا مال فضول ہو جاتا ہے۔ روایتی خشک کرنے کے طریقوں میں، دراصل ویفرز کی سطح پر درجہ حرارت کے فرق کا خطرہ موجود رہتا ہے۔ لیکن جب عمل کو نینومیٹر کی سطح پر ناپا جاتا ہے، تو ایسا خطرہ باقی نہیں رہتا۔
اس ڈرائر کی خصوصیات
یہ FOUP ڈرائر، ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کو ±0.1°C کے درمیان برقرار رکھتا ہے – یہ پیمائش ویفر کی سطح پر کی جاتی ہے، نہ کہ ہیٹر کی سطح پر۔ اس میں شارٹ-ویو انفراریڈ ایمیٹرز اور کوارٹز سے پاک ہوا کے بہاؤ کا نظام استعمال کیا گیا ہے، تاکہ نمی ختم کرتے وقت کوئی ذرہ بھی ویفر پر نہ جمے۔ میکانی سیلز اور فلٹرنگ سسٹم سے کلین روم کو کلاس 1–100 کی سطح پر برقرار رکھا جاتا ہے۔ اس ڈرائر میں خصوصی تھرمل ماڈلنگ سسٹم بھی موجود ہے، جس سے ویفر پر درجہ حرارت کو مستحکم رکھا جاتا ہے۔
لیتھوگرافی اور پیکیجنگ میں اس کی اہمیت
لیتھوگرافی کے عمل میں، اس ڈرائر کی وجہ سے ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کا بہتر کنٹرول ممکن ہوتا ہے، اور باقی رہنے والے مادوں کی وجہ سے پیدا ہونے والے نقائص کم ہو جاتے ہیں۔ اس سے ہر بیچ میں فوٹوریزسٹ کی کارکردگی یکساں رہتی ہے، اور مختلف شفٹوں میں بھی اس کی کارکردگی مستقل رہتی ہے۔ یہ ڈرائر نمی کو مؤثر طریقے سے ختم کرکے عمل کے وقت کو کم کرتا ہے، اور تیز تھرمل ردِعمل کی وجہ سے توانائی کی کھپت بھی کم رہتی ہے۔ پیکیجنگ کے عمل میں، یہ ڈرائر صفائی کے بعد ویفر کی سطح پر آکسیڈیشن کو روکتا ہے، اور انکیپسولیشن سے پہلے ویفر کی سطح پر چپکنے کی صلاحیت کو بہتر بناتا ہے۔
اس ڈرائر کو استعمال کرتے وقت کیا دیکھنا ضروری ہے؟
یہ ڈرائر معیاری FOUP سائز اور SEMI انٹرفیسز کے مطابق ہے، لیکن کیریئر کی ساخت اور دروازوں کے سیلز سے ہوا کا بہاؤ متاثر ہو سکتا ہے۔ لہذا، مختلف ویفروں پر درجہ حرارت کی پیمائش کرکے اور ایگزاسٹ کے راستے کی جانچ کرکے اس ڈرائر کو درست طریقے سے استعمال کرنا ضروری ہے۔ جب یہ ڈرائر مناسب طریقے سے کام کرنے لگتا ہے، تو یہ 24/7 کام کرتا رہتا ہے، اور پیشن گوئی پر مبنی دیکھ بھال سے غیرمتوقع بندشوں سے بچا جا سکتا ہے۔