فیبرک فلور پر، صرف 1.2°C کا اضافہ بھی فوٹوریزسٹ فلم کی خصوصیات کو خراب کر سکتا ہے؛ جس کی وجہ سے وہ فلم استعمال کے لائق نہیں رہتی۔ ہم نے اپنے کلین روم انفراریڈ ہیٹر کو اس مسئلے کو حل کرنے کے لئے تیار کیا ہے۔ یہ ہیٹر سیمی کنڈکٹر تیار کرنے کے عمل کے لئے بہترین ہے، کیوں کہ یہاں درجہ حرارت کو محدود رکھنا ضروری ہے، اور ذرات کی تعداد بھی کم ہونی چاہیے۔
دراصل کیا اہم ہے؟
ہم تیز ردِعمل والے اور درست سپیکٹرل کنٹرول والے شارٹ-ویو انفراریڈ ایمیٹر استعمال کرتے ہیں، تاکہ ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کو ±0.1°C کے اندر ہی رکھا جا سکے۔ ہر بار درجہ حرارت اسی حد میں رہتا ہے، جس سے لیتھوگرافی کے دوران اہم ابعاد مستحکم رہتے ہیں۔ یہ ڈیزائن کلین روم کے ماحول کے لئے بہترین ہے؛ کیوں کہ اس میں استعمال ہونے والے مواد سے ذرات کی تعداد کنٹرول میں رہتی ہے، یہاں تک کہ کلاس 1–100 کے ماحول میں بھی۔ اس سے 24/7 بغیر کسی رکاوٹ کے کام جاری رہتا ہے، اور اس کی توانائی کی کھپت بھی کم ہے، کیوں کہ یہاں بڑی مقدار میں حرارت پیدا نہیں ہوتی۔
فوٹوریزسٹ فلم کی پروسیسنگ میں صرف “گرم کرنا” ہی کافی نہیں ہے؛ بلکہ یہ ایک درستگی کا مطلوبہ عمل ہے۔ اس ہیٹر کی مدد سے درجہ حرارت کو تیزی سے بڑھایا جا سکتا ہے، اور پھر اسے کنٹرول کے ساتھ کم کیا جا سکتا ہے۔ اس سے محلول کی مناسب حذفیت، فلم کی مستحکم موٹائی، اور درست CD کنٹرول حاصل ہوتا ہے۔
آپ کو درجہ حرارت کی کارکردگی اور آلودگی کنٹرول کے درمیان انتخاب کرنے کی ضرورت نہیں ہے۔ کلین روم کے ماحول کے لئے یہ ڈیزائن پہلے سے ہی تیار کیا گیا ہے، جس سے پروسیسنگ کے دوران کوئی رکاوٹ نہیں آتی، اور پروڈکشن کی کارکردگی بہتر ہو جاتی ہے—بغیر کیمیکلز یا پروسیسنگ کے وقت میں کسی تبدیلی کے۔
اسے خریدنے سے پہلے چند عملی نکات پر غور کریں: اسے نصب کرنے کے لئے بیک چیمبر کی ساخت کے مطابق اسے ترتیب دینا ضروری ہے، اور ایمیٹر کو ویفر کے راستے کے مطابق ترتیب دینا بھی ضروری ہے؛ اگر آپ اسے پہلے سے موجود سسٹم میں نصب کرنا چاہتے ہیں، تو تھوڑی سی تبدیلیاں کرنی پڑیں گی۔ یہ ہیٹر اسی وقت اپنی مطلوبہ کارکردگی دکھاتا ہے، جب ہوا کا بہاؤ، اخراج، اور ریفلیکٹر کی صفائی مناسب طریقے سے کی جائے۔
الگ سے بجلی کا سرکٹ استعمال کرنا ضروری ہے، اور پہلے ہی وولٹیج کی حد کی جانچ کر لینی چاہیے۔ وولٹیج میں کمی سے درجہ حرارت کی استحکام متاثر ہوتا ہے۔ ہم کنٹرولر انٹرفیس فراہم کرتے ہیں، تاکہ اسے آسانی سے انٹیگریٹ کیا جا سکے۔