http://warm-ir-heater-supply.com/uk/tags/%D1%94%D0%B4%D0%B8%D0%BD%D0%B8%D0%B9/ Recent content in Єдиний on Warm IR Heater Supply Co. Hugo uk Sun, 28 Jun 2026 01:10:11 +0800 http://warm-ir-heater-supply.com/uk/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ Sun, 28 Jun 2026 01:10:11 +0800 http://warm-ir-heater-supply.com/uk/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ <p><img src="http://warm-ir-heater-supply.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Сушарка FOUP (Front Opening Unified Pod)"></p> <p>На лінії обробки пластин діаметром 300 мм достатньо того, щоб одна пластина, яка виходить з приміщення з вологим середовищем, мала на собі навіть незначні сліди води – це може призвести до зіпсування всього виробничого парку. При традиційному способі сушіння потрібно розраховувати на градієнти температури на поверхні пластин. Такий ризик є неприйнятним, коли параметри процесу вимірюються в нанометрах.</p> <p><strong>Що є важливим у цьому пристрої</strong><br> Цей пристрій забезпечує температурну однорідність на рівні пластини на рівні ±0,1°C – це вимірюється на самій поверхні пластини, а не на поверхні нагрівача. Він використовує інфрачервоні випромінювачі короткої довжини хвилі та канали для потоку повітря без використання кварцу, що запобігає появі частинок під час видалення вологи. Механічні ущільнення та фільтри для відведення повітря розроблені так, щоб підтримувати стандарти чистої кімнати класу 1–100. Вбудована система термічного моделювання компенсує вплив навантаження на пластини, завдяки чому процес сушіння залишається стабільним.</p>