Інфрачервоне опалення проти гарячого повітря: припиніть чекати, поки ваші пластини нагріються
Я все ще бачу безліч заводів з виробництва напівпровідників, які використовують гаряче повітря для нагрівання своїх пластин. Це старомодний спосіб, і, чесно кажучи, це дуже неефективно.
Проблема полягає у затримці процесу нагрівання. Повітря погано передає тепло. Тож доводиться витрачати багато часу на очікування, поки камера нагріється, а пластина досягне потрібної температури. Це схоже на процес висихання фарби, поки продуктивність заводу продовжує знижуватися.
Справжні витрати від очікування
Інфрачервоне опалення значно скорочує час нагрівання. Замість того, щоб нагрівати велику кількість повітря, інфрачервоні промені передають енергію безпосередньо на пластину. Цей процес відбувається зі швидкістю світла.
Коли ви працюєте над обробкою пластин, це дуже корисно – час нагрівання скорочується з хвилин до секунд. Ви більше не мусите боротися з „термічним тиском“ великої кількості повітря. Це означає, що час виробництва за одну партію зменшується, і можна обробляти більше пластин за одну зміну.
Але це не є ідеальним рішенням
Інфрачервоне опалення не є ідеальним рішенням для всіх випадків. Його інтенсивність може бути двосічним мечем – з одного боку, вона допомагає нагріти пластину, але з іншого – може створювати „гарячі точки“, якщо лампи розташовані неправильно.
Необхідно дуже уважно підходити до розташування ламп – їх положення та відстань від пластини мають велике значення. Якщо все зроблено неправильно, пластина може деформуватися.
Ми зазвичай використовуємо коротковхвильове інфрачервоне опалення, оскільки воно швидше нагріває поверхню пластини. Але слід пам’ятати, що лампи високої потужності споживають багато енергії. Переконайтеся, що ваша електрична система може витримати цей пік навантаження, інакше у вас будуть проблеми.
Перехід на інфрачервоне опалення
Перехід від гарячого повітря до інфрачервоного опалення не такий вже й простий – потрібно буде скоригувати параметри контролерів PID. Оскільки інфрачервоне опалення реагує майже миттєво, старі налаштування, які використовувалися для повітряних печей, призведуть до того, що система буде перегрівати пластину. Для цього потрібні нові налаштування.
Також потрібно переналаштувати датчики – потрібно стежити не за повітрям навколо пластини, а за її самою поверхнею. Коли все налаштовано правильно, процес нагрівання стає значно швидшим.