На поверхні пластини профілі нагрівання фотополімеру є обов’язковими – саме вони визначають, чи буде продукт готовий до використання, чи ж стане непридатним. Навіть зміна температури на 2°C під час процесу нагрівання може призвести до зміни критичних розмірів пластини та утворення дефектів. Ми розробили корпуси для інфрачервоних ламп саме для цієї мети – щоб забезпечити термічну стабільність у тих місцях, де це найбільше необхідно.
З технічної точки зору важливим є те саме, що і на виробничій лінії.
Ми поєднуємо джерела ІЧ-випромінювання короткохвильового та середньохвильового спектру з кварцовими елементами, щоб забезпечити швидке та цілеспрямоване нагрівання та тривалий термін служби. Бажана температурна однорідність на поверхні пластини становить ±0,1°C, а повторюваність значень – ±0,5°C. Стабільність вихідної потужності становить 2% протягом 5 000 годин. Корпус розроблений для цілодобової роботи; існують варіанти підключення та монтажу, які відповідають стандартам типових пристроїв для обробки пластин.
Ось чому цей пристрій є ідеальним для використання в процесі літографії.
Корпус забезпечує контроль температури під час нагрівання фотополімеру, запобігаючи її перевищенню. Сумісність із чистими приміщеннями класу 1–100 забезпечується завдяки матеріалам з низьким рівнем випаровування та конструкції, яка контролює кількість частинок. ІЧ-випромінювання нагріває фотополімер безпосередньо, тож менше тепла витрачається на обладнання, що дозволяє економити енергію. Кількість замін ламп зменшує кількість непланових перерв у роботі, а стабільні профілі нагрівання сприяють кращому контролю параметрів якості продукту.
Кілька практичних порад:
Необхідно підбирати спектр випромінювання відповідно до чутливості фотополімеру, а також вирівнювати фокусну площину лампи з площиною пластини. Неправильне вирівнювання призводить до нерівномірного нагрівання пластини. Під час прогрівання відбувається короткочасне нагрівання – це потрібно враховувати під час початку роботи обладнання. Також необхідно переконатися, що напруга та логіка взаємодії пристрою відповідають характеристикам корпусу; невідповідність проводки скорочує термін служби лампи та створює проблеми з безпекою.