На лінії обробки пластин діаметром 300 мм достатньо того, щоб одна пластина, яка виходить з приміщення з вологим середовищем, мала на собі навіть незначні сліди води – це може призвести до зіпсування всього виробничого парку. При традиційному способі сушіння потрібно розраховувати на градієнти температури на поверхні пластин. Такий ризик є неприйнятним, коли параметри процесу вимірюються в нанометрах.
Що є важливим у цьому пристрої
Цей пристрій забезпечує температурну однорідність на рівні пластини на рівні ±0,1°C – це вимірюється на самій поверхні пластини, а не на поверхні нагрівача. Він використовує інфрачервоні випромінювачі короткої довжини хвилі та канали для потоку повітря без використання кварцу, що запобігає появі частинок під час видалення вологи. Механічні ущільнення та фільтри для відведення повітря розроблені так, щоб підтримувати стандарти чистої кімнати класу 1–100. Вбудована система термічного моделювання компенсує вплив навантаження на пластини, завдяки чому процес сушіння залишається стабільним.
Чому цей пристрій корисний у літографії та упакуванні
У процесі літографії ця точність дозволяє краще контролювати критичні розміри та зменшувати кількість дефектів, спричинених залишковими розчинниками. Це забезпечує стабільну якість фотолаку на різних партіях продукції, а також стабільність результатів протягом усього процесу виробництва. Крім того, пристрій скорочує час обробки завдяки ефективному видаленню вологи, а енергоспоживання залишається на контрольованому рівні завдяки швидкій реакції пристрою та ефективному режиму очікування. У процесі упакування пристрій запобігає окисленню пластин після очищення та покращує їх адгезію під час упаковки.
На що потрібно звернути увагу під час встановлення
Пристрій підходить для стандартних форм-факторів FOUP та відповідає стандартам SEMI. Однак геометрія кріплення та ущільнення дверей все одно можуть впливати на потік повітря. Необхідно провести короткі випробування для визначення температури в різних точках пластини та переконатися, що шлях відведення повітря відповідає параметрам чистої кімнати. Після налаштування пристрій може працювати 24/7 з системою попереджень про необхідність технічного обслуговування, що дозволяє уникнути непланових перерв у роботі.