Kurutma on Warm IR Heater Supply Co.

MEMS sensör yongası kurutma ısıtıcısı

Sat, 18 Jul 2026 01:52:03 +0800

Kızılötesi Işınları Kullanarak MEMS Waflerinin Kurutulması

MEMS sensör waflerini kuruturken dengeli bir yaklaşım benimsemek gerekiyor. Nemin tamamen giderilmesi gerekiyor; ancak herhangi bir kalıntının kalmaması da şart. Ayrıca donanımın zarar görmemesi de önemli.

İşte bu yüzden kızılötesi ışınlarını kullanıyoruz. Kimyasallarla uğraşmak ya da havayı ısıtmak yerine, kızılötesi ışınları su moleküllerine doğrudan etki eder. Bu daha temiz bir yöntemdir ve aynı zamanda çevre dostu, kurşunsuz üretim standartlarına da uygun olur.

Nasıl işler?
Standart bir konveksiyon fırını düşünün. Tüm fırını ısıtmak uzun zaman alır. Kızılötesi ışınlarında ise hedefimiz wafer’in yüzeyidir. Kısa dalga veya orta dalga spektrumları kullanarak enerjinin ince MEMS filmlerinin içinden geçip sıvıların hızla buharlaşmasını sağlarız. En iyi yanı ise fırının önceden ısınmasını beklemeye gerek kalmamasıdır. Sadece cihazı açıp işe koyulabilirsiniz.

İşleme tesislerindeki kurutma süreçleri için enerji denetimi

Thu, 16 Jul 2026 01:17:18 +0800

Duvarları ısıtmayı bırakın: Waferleri kurutmanın daha iyi bir yolu
Eğer bir fabrikada kurutma işlemlerini yönetmekle uğraştıysanız, bu durumun ne kadar zor olduğunu bilirsiniz. Waferleri kurutmaya çalışırsınız, ancak enerjinizin yarısı makinenin gövdesine boşa harcanır. Bu oldukça sinir bozucu bir durumdur. Sonuç olarak iç duvarlar yanar ve makine o kadar sıcak hale gelir ki dokunulamaz hale gelir. Bu da onu bakım yapacak olan kişi için kabus gibi bir durumdur.

Bunu aşmanın bir yolu olarak yönlendirilmiş kızılötesi ısıtma sistemlerini kullanıyoruz.
Asıl mesele, ısının nereye gittiğidir.
Çoğu ısıtıcı tıpkı ampuller gibidir; enerjiyi her yöne saçar. Dar alanlarda bu israf edilen enerjinin gitmesi için başka bir yer yoktur; duvarlara gider. Biz ise reflektörler sayesinde ışığı dar bir şekilde odaklayan kısa dalga boylu kızılötesi lambalar kullanıyoruz. Böylece ısı sadece hedefe odaklanır ve çevre bölgeler soğuk kalır.

Wafer kurutma modülü 200mm

Mon, 29 Jun 2026 02:22:43 +0800

200mm hatlarında, temizleme işleminden sonra yapılan kurutma işlemi sadece boşa geçen zaman değildir. Bu aşamada yüzey gerilimi, kalan çözücüler ve mikro kirlilikler, bir sonraki fotoresist katmanının istenen özelliklere sahip olup olmayacağını belirler; aksi takdirde fotoresist işlemleri başarısız olur.

Aslında önemli olan şeyler 200mm wafer kurutma modülümüz, tasarımı itibarıyla tekrarlanabilir bir termal profil üzerine kurulmuştur. Sıcak bölge, waferin tüm yüzeyinde ±0,1°C’lik bir düzgünlük sağlar; böylece hem yumuşak hem de sert kurutma koşulları, fotoresistin tutarlı bir şekilde davranmasını sağlar. Odanın ve gaz akışının koşulları, Cleanroom Class 1–100 standartlarına uygundur ve sistem, çalışmaya başladığında hiçbir parça artığı oluşturmaz. Biz bunu ölçtüğümüz şekilde ifade ediyoruz: Aynı sıcaklık, aynı artış hızı, döngüden döngüye aynı performans.