ในกระบวนการผลิตที่มีความละเอียดถึง 300 มิลลิเมตร แค่มีน้ำหยดขนาดเล็กๆ เพียงหยดเดียวบนวัสดุที่นำออกมาจากเครื่องอบ ก็เพียงพอที่จะทำให้ชุดวัสดุทั้งหมดเสียหายได้แล้ว ส่วนวิธีการอบแบบปกตินั้น ก็เป็นการพนันกับความแตกต่างของอุณหภูมิในแต่ละชั้นของวัสดุ ซึ่งเป็นความเสี่ยงที่ไม่สามารถยอมรับได้เมื่อต้องการควบคุมความละเอียดในระดับนาโนเมตร
สิ่งที่สำคัญจริงๆ เครื่องอบนี้สามารถควบคุมอุณหภูมิให้มีความสม่ำเสมอในระดับ ±0.1°C โดยวัดค่าที่พื้นผิวของวัสดุ ไม่ใช่ที่พื้นผิวของเครื่องอบเอง โดยใช้เครื่องปล่อยรังสีอินฟราเรดคลื่นสั้น และระบบลมที่ไม่มีส่วนประกอบของควอตซ์ เพื่อไม่ให้มีอนุภาคเข้ามาขณะที่กำลังกำจัดความชื้นออกไป นอกจากนี้ ยังมีระบบปิดผนึกและระบบกรองอากาศที่ช่วยรักษาสภาพแวดล้อมให้อยู่ในระดับ Cleanroom Class 1–100 อีกด้วย ระบบจำลองอุณหภูมิที่มีอยู่ในเครื่องนี้ช่วยให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ ทำให้สามารถควบคุมกระบวนการอบได้อย่างสม่ำเสมอ
เหตุใดจึงมีประโยชน์ในกระบวนการลิธโกรฟีและการบรรจุภัณฑ์ ในกระบวนการลิธโกรฟี ความแม่นยำนี้ช่วยให้สามารถควบคุมขนาดของวัสดุได้อย่างดี และลดข้อบกพร่องที่เกิดจากสารละลายที่เหลืออยู่ได้ ทำให้คุณภาพของวัสดุมีความสม่ำเสมอในแต่ละชุด และสามารถควบคุมคุณภาพได้ตลอดเวลา นอกจากนี้ เครื่องนี้ยังช่วยลดเวลาในการอบได้อีกด้วย เนื่องจากสามารถกำจัดความชื้นได้อย่างมีประสิทธิภาพ และยังช่วยประหยัดพลังงานได้อีกด้วย ส่วนในกระบวนการบรรจุภัณฑ์นั้น เครื่องนี้ช่วยป้องกันการเกิดออกซิเดชันหลังการทำความสะอาด และช่วยเพิ่มความแน่นหนาของวัสดุก่อนการบรรจุภัณฑ์
สิ่งที่ควรระวังเมื่อนำเครื่องนี้มาใช้งาน เครื่องอบนี้สามารถใช้งานได้กับ FOUP มาตรฐาน และมีอินเทอร์เฟซที่สอดคล้องกับมาตรฐาน SEMI แต่รูปร่างของ FOUP และระบบปิดผนึกอาจส่งผลต่อทิศทางของกระแสลมได้ ดังนั้นควรมีการทดสอบการใช้งานเบื้องต้น เพื่อตรวจสอบอุณหภูมิในหลายจุดของวัสดุ และตรวจสอบว่าระบบระบายอากาศสอดคล้องกับมาตรฐานของห้องควบคุมความสะอาดหรือไม่ เมื่อทุกอย่างเรียบร้อยแล้ว เครื่องนี้สามารถทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมง พร้อมระบบแจ้งเตือนเมื่อมีปัญหา เพื่อหลีกเลี่ยงการหยุดทำงานโดยไม่คาดคิด