Сушка FOUP (Front Opening Unified Pod)

Sun, 28 Jun 2026 01:10:11 +0800

На линии производства дисков диаметром 300 мм достаточно того, чтобы один из кульков с дисками вышел с участка обработки с микроскопическими следами воды – это уже может привести к браку всей партии продукции. При использовании традиционных методов сушки приходится рисковать из-за различий температуры на поверхности дисков. Такой риск неприемлем, когда размеры элементов измеряются в нанометрах.

Что действительно важно Устройство для сушки обеспечивает температурную однородность на уровне дисков в пределах ±0,1°C – измерение производится на самой поверхности диска, а не на поверхности нагревателя. Для удаления влаги используются инфракрасные излучатели коротких волн, а также каналы для потока воздуха без использования кварца. Механические уплотнения и фильтры обеспечивают соблюдение стандартов чистоты класса 1–100. Встроенная система моделирования температуры позволяет компенсировать влияние нагрузки на устройство, что обеспечивает стабильность процесса сушки.

Единый on Warm IR Heater Supply Co.

Сушка FOUP (Front Opening Unified Pod)