На линии производства дисков диаметром 300 мм достаточно того, чтобы один из кульков с дисками вышел с участка обработки с микроскопическими следами воды – это уже может привести к браку всей партии продукции. При использовании традиционных методов сушки приходится рисковать из-за различий температуры на поверхности дисков. Такой риск неприемлем, когда размеры элементов измеряются в нанометрах.
Что действительно важно Устройство для сушки обеспечивает температурную однородность на уровне дисков в пределах ±0,1°C – измерение производится на самой поверхности диска, а не на поверхности нагревателя. Для удаления влаги используются инфракрасные излучатели коротких волн, а также каналы для потока воздуха без использования кварца. Механические уплотнения и фильтры обеспечивают соблюдение стандартов чистоты класса 1–100. Встроенная система моделирования температуры позволяет компенсировать влияние нагрузки на устройство, что обеспечивает стабильность процесса сушки.
Почему это важно в литографии и упаковке В процессе литографии такая точность позволяет контролировать критические размеры элементов с большей точностью, что снижает количество дефектов, вызванных остаточными растворителями. Это также способствует стабильности качества фотополимеров в разных партиях продукции. Устройство также сокращает время сушки за счет эффективного удаления влаги. Благодаря быстрой реакции на изменения температуры и эффективной режиму ожидания, потребление энергии остается на контролируемом уровне. В процессе упаковки устройство предотвращает окисление дисков после очистки и улучшает их адгезию перед герметизацией.
На что стоит обратить внимание при внедрении устройства Устройство соответствует стандартным размерам кульков с дисками и интерфейсам SEMI. Однако геометрия кульков и уплотнения дверей могут влиять на поток воздуха. Необходимо провести тестирование для определения температуры в разных точках дисков и проверки правильности расположения каналов вывода воздуха в соответствии с параметрами чистой комнаты. После настройки устройство может работать круглосуточно, при этом система предупреждений обеспечивает отсутствие неплановых простоев.