Предотвращение разрушения кварцевых трубок при обработке вафер под высокими нагрузками
На производствах с высокими нагрузками поломка лампы — настоящая катастрофа. Речь идет не только о простое остановке производства. Если кварцевая трубка лопается во время процесса обработки, осколки и химические вещества разлетаются повсюду. В результате вафры загрязняются, и приходится заниматься их чисткой. Мы разрабатываем ИК-лампы, способные выдерживать такую нагрузку, чтобы избежать ситуаций, когда чистая комната превращается в зону бедствия.
Борьба с жарой и риском разрушения
ИК-лампы с высокой мощностью нагреваются до очень высоких температур. Когда лампа работает на пределе своих возможностей, жар вызывает расширение кварца, что создает огромное давление на стенки трубки. Чтобы этого избежать, мы используем кварц высокой чистоты. Он расширяется гораздо меньше, чем дешевый кварц, поэтому трубка не будет трескаться при резком изменении температуры. Но материал — это еще не все. Мы также стараемся, чтобы нить накаливания находилась строго в центре трубки. Если она сместится даже немного, возникают «точки высокой температуры», где тепло скапливается на стенках трубки. Именно там и начинается разрушение. Поддержание нити накаливания в центре помогает сохранить работоспособность лампы.
Сохранение чистоты
Мы не можем полагаться только на прочность трубок. Мы используем дополнительные защитные меры, чтобы ничего не попадало на вафры. Во-первых, мы используем специальные покрытия, которые позволяют проходить ИК-свету, но делают трубку более прочной. Во-вторых, мы используем защитные кожухи или сетки, которые предотвращают разрушение трубки. Это своего рода резервный вариант. Если трубка все же разрушается, осколки остаются внутри кожуха, а вафры остаются чистыми.
Компромиссы
Высокая энергетическая плотность — это хорошо, но это также создает определенные сложности. Когда лампы работают на полную мощность, системы охлаждения вынуждены справляться с большим количеством тепла, исходящего от вафр. Если система охлаждения слаба, корпус лампы будет перегреваться. Это приведет к поломке контактов и электрическим сбоям. Проще говоря, лучшая система охлаждения значит дольше служба оборудования.