Infravermelho vs. Ar Quente: Pare de esperar que as suas wafers esquentem
Ainda vejo muitas fábricas de semicondutores que dependem do uso de ar quente para aquecer as wafers. É um método antiquado, e, honestamente, é muito lento.
O problema é o tempo necessário para que o ar aqueça as wafers. O ar não é eficaz em transmitir calor. Acabamos gastando muito tempo esperando que a câmara atinja a temperatura desejada. É como esperar que a tinta seque, enquanto o tempo de produção continua a passar.
O verdadeiro custo da espera
O aquecimento por infravermelho elimina essa necessidade. Em vez de aquecer um grande volume de ar, os raios infravermelhos transferem energia diretamente para as wafers. Isso acontece na velocidade da luz.
Quando você está no meio do processo de produção, isso é uma vantagem enorme. O tempo de aquecimento diminui de minutos para segundos. Você não precisa mais lutar contra o “peso térmico” do ar. Isso significa que o custo por lote diminui, e você consegue processar mais wafers a cada turno.
Mas não é tudo perfeito
O infravermelho não é a solução perfeita para tudo. Embora seja eficaz, sua intensidade pode ser um problema. Enquanto o ar quente envolve as wafers uniformemente, o infravermelho pode criar pontos quentes se as lâmpadas não estiverem posicionadas corretamente.
É preciso ter cuidado com a geometria das lâmpadas – sua posição e distância são fundamentais. Se algo der errado, há risco de deformação das wafers.
Geralmente, usamos infravermelho de onda curta, pois ele atinge a superfície das wafers mais rapidamente. Mas atenção: essas lâmpadas consomem muita energia. Certifique-se de que seus painéis elétricos possam lidar com esse aumento de consumo de energia, caso contrário, você terá outros problemas.
Mudando para o infravermelho
Passar do ar quente para o infravermelho não é tão simples quanto trocar apenas o aquecedor. Você precisará ajustar seus controladores PID. Como o infravermelho responde quase instantaneamente, as configurações antigas não funcionarão. É preciso recalibrar os sensores. Pare de monitorar o ar ao redor das wafers e comece a monitorar a superfície delas. Depois de ajustar tudo, você terá um processo mais rápido e eficiente.