Pare de aquecer as paredes do equipamento: uma maneira melhor de secar os wafers
Se você já trabalhou com ciclos de secagem em fábricas de semicondutores, sabe bem o quanto isso é difícil. Você tenta secar os wafers, mas metade da energia utilizada acaba sendo desperdiçada no próprio chassis do equipamento. Isso é frustrante. No final, as paredes internas ficam muito quentes, e o equipamento se torna perigoso para ser tocado. Isso é um verdadeiro pesadelo para quem precisa mantê-lo em funcionamento.
Encontramos uma solução para esse problema, utilizando aquecimento por infravermelho direcional.
A chave está em onde o calor é direcionado.
A maioria dos aquecedores funciona como lâmpadas: eles irradiam energia em todas as direções. Em ambientes pequenos, esse calor desperdiçado não tem para onde ir, a não ser para as paredes. Nós usamos lâmpadas de infravermelho de onda curta, com refletores que funcionam como faróis. Em vez de um calor disperso, o calor é direcionado para um único ponto.
O resultado? O calor atinge o alvo desejado, enquanto o resto do equipamento permanece fresco.
Mas há um compromisso a ser feito.
A vantagem é a velocidade. Não é preciso esperar que toda a câmara fique quente. Os fótons atingem o substrato quase instantaneamente. É muito rápido. E, como usamos alta densidade de poder, os componentes do equipamento não ocupam muito espaço.
Mas há um detalhe importante: é preciso cuidar do sistema de resfriamento. Embora as paredes fiquem frias, o próprio recipiente da lâmpada fica extremamente quente. Se o fluxo de ar não estiver ajustado de acordo com a potência utilizada, pode haver danos aos componentes eletrônicos ou até mesmo falhas nos sensores térmicos.
Por que se preocupar?
Eliminar esse efeito de “paredes quentes” não é apenas uma forma de economizar energia. Isso também torna o ambiente mais seguro. Ninguém gosta da ideia de se queimar durante um processo de carga de wafers ou durante manutenções de rotina. Além disso, o perfil térmico do wafer fica muito mais uniforme, o que reduz bastante o risco de deformação.
Construímos esses dispositivos para serem substitutos simples. Basta trocar os aquecedores convencionais por esses novos, conectá-los a um controlador PID para manter a temperatura sob controle. Assim, você evita desperdiçar energia nas paredes e mantém a temperatura dos componentes em níveis seguros.