Suszarka FOUP (Front Opening Unified Pod)

Sun, 28 Jun 2026 01:10:11 +0800

Na linii 300 mm wystarczy, że jeden tylko FOUP wychodzący z stanowiska suszenia będzie miał na sobie mikroskopijne ślady wody, aby cała partia produktów stała się nierozpatrywalna do użycia. Przy konwencjonalnym sposobie suszenia musimy polegać na gradientach temperatur na powierzchni płytek krzemowych. Taki rodzaj ryzyka nie jest do przyjęcia, gdy zakres tolerancji wynosi kilka nanometrów.

Co jest istotne pod względem technicznym Ten suszarka FOUP zapewnia jednolitość temperatury na poziomie płytek krzemowych na poziomie ±0,1°C – mierzonych na samym płaszczyźnie płytki, a nie na powierzchni grzałki. Wykorzystuje emiterzy promieniowania podczerwonego o krótkiej długości fali oraz kanał przepływu powietrza bez kwarcu, dzięki czemu nie dochodzi do dodawania cząstek podczas usuwania wilgoci. Mechaniczne uszczelki i systemy filtracji odprowadzające powietrze są tak skonstruowane, aby utrzymać warunki w pomieszczeniu klasy 1–100. Wbudowany model termiczny dostosowuje się do obciążenia nośnika, dzięki czemu procedury suszenia zachowują swoją spójność bez żadnych odchyłek.

Otwarcie on Warm IR Heater Supply Co.

Suszarka FOUP (Front Opening Unified Pod)