http://warm-ir-heater-supply.com/pl/tags/fotorezyst/ Recent content in Fotorezyst on Warm IR Heater Supply Co. Hugo pl Sun, 07 Jun 2026 01:06:26 +0800 http://warm-ir-heater-supply.com/pl/posts/photoresist-baking-lamp/ Sun, 07 Jun 2026 01:06:26 +0800 http://warm-ir-heater-supply.com/pl/posts/photoresist-baking-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-supply.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Lampa do wygrzewania fotorezystu"></p> <p>Na wydziale litografii soft bake i hard bake to nie tylko etapy – to termiczne „uściski dłoni”. Odchylenie o pół stopnia przesuwa CD bias, a gorące miejsce może wygenerować defekt, który trafia na wafelek i prowadzi bezpośrednio do utraty wydajności. Zaprojektowaliśmy lampy do wypalania fotorezystu tak, aby utrzymać budżet termiczny tam, gdzie proces tego wymaga.</p> <p>Rdzeniem są wybiórcze długości fal podczerwieni, dostarczane przez emitery kwarcowe o krótkiej i średniej fali, <a href="https://henruite.com">dopasowane</a> do absorpcji fotorezystu. Oznacza to szybkie, bezpośrednie nagrzewanie do rezystu z poziomą jednorodnością na poziomie ±0,1°C w skali całej powierzchni wypalania. Powtarzalność temperatury mieści się w ±0,2°C pomiędzy partiami, co gwarantuje, że każdy wafelek otrzymuje ten sam profil termiczny.</p>