Wybuchy lamp powodujące zniszczenie płytek krzemowych
W stanowiskach do mycia półprzewodników wybuch lampa to nie tylko kłopoty lub strata czasu pracy urządzenia – to prawdziwy koszmar. Gdy kwarcowa rura pęka pod dużym obciążeniem, kawałki szkła i nitki wolframu spadają prosto na płytki krzemowe. W ten sposób niszczy się całą partię produktów. Nasze odpornicze na wodę lampy IR zostały zaprojektowane tak, by temu zapobiec.
Dlaczego lampy się psują
Warunki w stanowiskach do mycia są naprawdę trudne. Źródła ciepła o dużej mocy znajdują się zaledwie kilka centymetrów od strumieni wody. Temperatura może gwałtownie się zmieniać. Jeśli jedna kropla wody dostanie się na gorącą rurę kwarcową, ta może natychmiast się popękać. Aby temu zapobiec, otoczyliśmy element lampy specjalną, wodoodporną osłoną z hermetycznie zamkniętymi końcówkami. Dzięki temu woda i ciepło nie mogą dotknąć elementu lampy.
Utrzymanie brudu wewnątrz
Nie ograniczyliśmy się tylko do uszczelnienia końcówek lampy. Skupiliśmy się na efektywnym utrzymywaniu brudu wewnątrz. Jeśli nitka w lampie się wypali lub wewnętrzna rura się złamie, zewnętrzna osłona pochłania cały brud. Nie musisz się martwić o małe kawałeczki szkła, które mogłyby dostać się na płytki krzemowe. Ponieważ używamy materiałów o wysokiej czystości do produkcji tej osłony, ciepło nadal może przenikać przez nią. Dzięki temu uzyskujesz pożądaną gęstość ciepła, bez uszkodzenia chemii używanej do mycia płytek krzemowych.
Prawdziwe kompromisy
Nic nie jest doskonałe. Dodanie tej warstwy ochronnej powoduje minimalne opóźnienie w nagrzewaniu lampy. Będzie więc potrzeba nieco więcej czasu, aby temperatura lampy osiągnęła pożądany poziom. Trzeba będzie dostosować ustawienia PID, aby temperatura na powierzchni lampy była dokładnie taka, jak należy. Ponadto warto regularnie sprawdzać uszczelki lampy – zalecamy to robić co 500 godzin. Gdy uszczelka zaczyna tracić swoje właściwości, wilgoć może dostać się do środka, co znów stanowi zagrożenie. Również należy używać przewodów o wysokiej temperaturze topnienia, aby konektory nie topniały w gorących warunkach.