Na linii 300 mm wystarczy, że jeden tylko FOUP wychodzący z stanowiska suszenia będzie miał na sobie mikroskopijne ślady wody, aby cała partia produktów stała się nierozpatrywalna do użycia. Przy konwencjonalnym sposobie suszenia musimy polegać na gradientach temperatur na powierzchni płytek krzemowych. Taki rodzaj ryzyka nie jest do przyjęcia, gdy zakres tolerancji wynosi kilka nanometrów.
Co jest istotne pod względem technicznym Ten suszarka FOUP zapewnia jednolitość temperatury na poziomie płytek krzemowych na poziomie ±0,1°C – mierzonych na samym płaszczyźnie płytki, a nie na powierzchni grzałki. Wykorzystuje emiterzy promieniowania podczerwonego o krótkiej długości fali oraz kanał przepływu powietrza bez kwarcu, dzięki czemu nie dochodzi do dodawania cząstek podczas usuwania wilgoci. Mechaniczne uszczelki i systemy filtracji odprowadzające powietrze są tak skonstruowane, aby utrzymać warunki w pomieszczeniu klasy 1–100. Wbudowany model termiczny dostosowuje się do obciążenia nośnika, dzięki czemu procedury suszenia zachowują swoją spójność bez żadnych odchyłek.
Dlaczego jest to istotne w litografii i pakowaniu W procesie litografii ta precyzja sprawia, że kontrola wymiarów elementów jest lepsza, a liczba defektów spowodowanych pozostałościami rozpuszczalników jest mniejsza. Dzięki temu parametry fotoopornika są spójne pomiędzy poszczególnymi partiami produktów, a jego właściwości są stałe przez całą produkcję. Urządzenie skraca czas suszenia poprzez skuteczne usuwanie wilgoci, a zużycie energii jest ograniczone dzięki szybkiej reakcji termicznej i efektywnemu trybowi czuwania. W procesie pakowania zapobiega ono utlenianiu po oczyszczeniu i poprawia przyczepność przed zapakowaniem produktu.
Na co należy zwrócić uwagę podczas instalacji Suszarka pasuje do standardowych wymiarów FOUP oraz standardów SEMI, ale geometria nośnika i uszczelki drzwi mogą wpływać na przepływ powietrza. Należy przeprowadzić krótkie testy, aby sprawdzić temperaturę w różnych miejscach na płytkach krzemowych oraz upewnić się, że droga odprowadzania powietrza odpowiada profilowi ciśnienia w pomieszczeniu. Po dobrym dostrojeniu urządzenie może pracować 24/7, z powiadomieniami o konieczności konserwacji, dzięki czemu unika się nieplanowanych przerw w pracy.