FOUP droger (Front Opening Unified Pod)

Sun, 28 Jun 2026 01:10:11 +0800

Op de 300mm-lijn is het al voldoende dat één FOUP met een microscopisch klein watermerk uit de droogkamer komt, om hele partijen producten te moeten verwerpen. Bij conventionele droogmethoden riskeer je namelijk dat er temperatuurverschillen ontstaan tussen de verschillende lagen van de chip. Dat soort risico’s is niet acceptabel wanneer de precisie van het proces in nanometers wordt gemeten.

Wat belangrijk is Deze FOUP-droger bereikt een thermische uniformiteit op het niveau van de chip van ±0,1°C – gemeten op het oppervlak van de chip zelf, en niet op het oppervlak van de verwarmer. De droger maakt gebruik van kortegolflange infrarode stralers en een luchtcirculatiesysteem zonder kwarts, zodat er geen deeltjes worden toegevoegd terwijl er vocht wordt verwijderd. De mechanische sluitingen en filters zorgen ervoor dat de ruimte in categorie 1–100 blijft. Het ingebouwde thermische model compenseert voor de last die wordt veroorzaakt door de chip, zodat de resultaten consistent blijven, zonder dat er fouten optreden.

Geunificeerd on Warm IR Heater Supply Co.

FOUP droger (Front Opening Unified Pod)