Droogheater voor MEMS sensorwafern

Sat, 18 Jul 2026 01:52:04 +0800

Het drogen van MEMS-chips met infraroodstraling
Bij het drogen van MEMS-sensorchips moet je een balans vinden tussen verschillende factoren. De vochtigheid moet worden verwijderd, maar er mogen geen restanten overblijven. Ook mag de hardware niet worden beschadigd.

Daarom maken we gebruik van infraroodstraling. In plaats van chemicaliën te gebruiken of de lucht op te warmen, bereikt de infraroodstraling rechtstreeks de watermoleculen. Dit is een schone manier om dit te doen, en het past goed bij de trend richting milieuvriendelijke, loodvrije productiemethoden.

Wafeldroogmodule 200mm

Mon, 29 Jun 2026 02:22:43 +0800

Op de 200mm-lijn is het drogen na het reinigen geen slechts een tijdsverlies. Het is juist op dit moment dat de oppervlaktespanning, de restanten van oplosmiddelen en microcontaminaties bepalen of de volgende laag fotorezist binnen de vereiste specificaties wordt aangebracht – of dat het proces niet goed verloopt.

Wat er echt toe doet Ons droogingsmodule voor 200mm-wafer is ontworpen met een thermostatisch profiel dat herhaalbaar is. De hete zone houdt een constante temperatuur van ±0,1°C over het hele oppervlak van de wafer. Hierdoor zijn de temperaturen nodig voor het drogen van de fotorezist consistent. De kamers en gasleidingen zijn compatibel met schone ruimten van klasse 1–100. Het systeem is zo ontworpen dat er geen deeltjes vrijkomen zodra het systeem stabiel werkt. We noemen dit ‘zelfde temperatuur,zelfde snelheid van temperatuurstijging, ciclus na ciclus’.

Drogen on Warm IR Heater Supply Co.

Droogheater voor MEMS sensorwafern

Wafeldroogmodule 200mm