Droogheater voor MEMS sensorwafern
Het drogen van MEMS-chips met infraroodstraling
Bij het drogen van MEMS-sensorchips moet je een balans vinden tussen verschillende factoren. De...
Wafeldroogmodule 200mm
Op de 200mm-lijn is het drogen na het reinigen geen slechts een tijdsverlies. Het is juist op dit moment dat de oppervlaktespanning, de restanten van...