Stop met het opwarmen van de muren: een betere manier om wafers te drogen
Als je ooit tijd hebt besteed aan het beheren van droogprocessen in een fabriek, ken je het probleem. Je probeert de wafer droog te maken, maar de helft van de energie gaat verloren in het frame van de machine. Dat is frustrerend. Uiteindelijk krijg je verbrande binnenmuren en een machine die te heet is om aan te raken, wat een nachtmerrie is voor degene die hem moet onderhouden.
Wij hebben een oplossing gevonden door over te stappen op gerichte infrarode (IR) verwarming.
Het geheim zit in waar de warmte naartoe gaat.
De meeste verwarmers werken zoals gloeilampen: ze stralen energie in alle richtingen uit. In een kleine fabriek heeft deze verspilde warmte nergens anders naartoe dan de muren. Wij gebruiken korte-golf IR-lampen met reflectoren die fungeren als een zaklamp. In plaats van een willekeurige warmtestraal, richten we de warmte op één punt.
Het resultaat? De warmte bereikt het doel, terwijl de rest van de ruimte koel blijft.
Er is echter wel een compromis.
Het voordeel is de snelheid. Je hoeft niet te wachten tot de hele ruimte volledig is opgewarmd. De fotonen bereiken het onderlegsel bijna onmiddellijk. Het is snel. Heel snel. En omdat we een hoge vermogensdichtheid gebruiken, neemt het apparaat weinig ruimte in beslag.
Maar er is één nadeel: je moet goed opletten op het koelsysteem. Terwijl de muren koel blijven, wordt de lamp zelf ontzettend heet. Als de luchtcirculatie niet goed is afgesteld op het vermogen dat je gebruikt, kunnen de contactpunten beschadigen of kan een thermische sensor uitvallen.
Waarom zou je dit doen?
Het wegnemen van dit ‘ hete muur’-effect is niet alleen goed voor het besparen van energiekosten. Het maakt de omgeving ook veiliger. Niemand wil bang zijn om zich te branden tijdens het laden van een wafer of tijdens routineonderhoud. Bovendien verkrijg je een veel consistenter temperatuurprofiel over de wafer, waardoor er minder vervorming optreedt.
We hebben deze apparaten zo ontworpen dat ze gemakkelijk als vervanging kunnen dienen. Vervang gewoon je oude verwarmers door deze, verbinding maken met een PID-regelaar om de temperatuur nauwkeurig onder controle te houden – en klaar is Kees. Je verspilt geen energie meer aan de muren en houdt de temperatuur van de apparatuur op een niveau dat geen gevaar vormt voor je medewerkers.