http://warm-ir-heater-supply.com/ms/tags/200mm/ Recent content in 200mm on Warm IR Heater Supply Co. Hugo ms Mon, 29 Jun 2026 02:22:43 +0800 http://warm-ir-heater-supply.com/ms/posts/wafer-drying-module-200mm/ Mon, 29 Jun 2026 02:22:43 +0800 http://warm-ir-heater-supply.com/ms/posts/wafer-drying-module-200mm/ <p><img src="http://warm-ir-heater-supply.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Modul pengeringan wafer 200mm"></p> <p>Pada lini pengeluaran berukuran 200mm, proses pengeringan selepas pembersihan bukan sekadar masa yang terbuang. Ia merupakan langkah penting di mana tegangan permukaan, baki pelarut, dan <a href="https://o-yate.net">kotoran</a> mikro menentukan sama ada lapisan photoresist yang seterusnya dapat diletakkan dengan tepat mengikut spesifikasi yang ditetapkan – atau sebaliknya, ia akan gagal berfungsi dengan baik semasa proses litografi.</p> <p><strong>Apa yang benar-benar penting</strong><br> Modul pengeringan wafer berukuran 200mm ini dibina berdasarkan profil suhu yang boleh diulang dengan tepat. Zon panas dalam modul ini memastikan suhu yang seragam sekitar ±0.1°C di seluruh permukaan wafer. Dengan cara ini, suhu yang digunakan untuk proses pengeringan akan memberikan hasil yang konsisten pada lapisan photoresist. Bilik dan saluran gas yang digunakan sesuai dengan standard bilik <a href="https://o-yate.com">bersih</a> kelas 1–100. Sistem ini direka agar tidak ada zarah kotoran yang masuk ke dalam sistem setelah ia beroperasi dengan stabil. Kami mengukurnya melalui suhu yang tetap, kadar perubahan suhu yang sama, dari satu kitaran ke kitaran yang lain.</p>