Berhenti membuang masa menunggu udara menjadi panas
Jika anda masih menggunakan kaedah pemanasan udara panas untuk proses pemprosesan semikonduktor, sebenarnya anda sedang membayar “cukai perantara” berupa masa yang terbuang. Fikirkanlah: anda memanaskan udara terlebih dahulu, kemudian berharap udara tersebut dapat memanaskan wafer. Ia merupakan proses yang lambat.
Pemanasan menggunakan gelombang inframerah (IR) mengelakkan keperluan adanya “perantara”. Tenaga dipancarkan terus ke permukaan wafer. Tiada lagi masa yang perlu dibazirkan.
Mengapa ini penting
Apabila menggunakan udara panas, kita perlu melawan kesan inersia haba. Kita perlu menunggu udara mencapai suhu tertentu sebelum bahan yang diproses dapat merasai kesan pemansuhan tersebut. Ia merupakan proses yang memakan masa.
Lampu IR pula berbeza. Ia dapat mencapai suhu yang diinginkan dengan cepat. Dengan cara ini, masa yang diperlukan untuk memanaskan bahan dapat dikurangkan daripada minit kepada saat sahaja. Dengan cara ini, seluruh proses pengeluaran akan menjadi lebih efisien. Anda tidak perlu menggunakan banyak stesen untuk mencapai hasil yang diinginkan – anda boleh melakukan lebih banyak perkara dengan ruang yang lebih sedikit.
Masalah “Jangan rosakkan wafer”
Walaupun kelajuan merupakan faktor penting, tetapi jika suhu melebihi had yang ditetapkan, maka keseluruhan wafer akan rosak. Itu merupakan situasi yang sangat buruk dan tiada siapa yang ingin mengalaminya.
Untuk mengelakkan masalah ini, kita gunakan termokopel berketepatan tinggi bersama-sama dengan pemanas IR. Ini membolehkan sistem memberi maklum balas tepat pada masanya agar pemanas dapat mengurangkan tekanan pemanasan apabila diperlukan.
Namun, sensor yang digunakan haruslah secepat pemanas itu sendiri. Jika sensor yang digunakan mempunyai masa tindak balas yang lambat, maka lampu akan terus memanaskan bahan tersebut walaupun sudah mencapai suhu maksimum. Anda memerlukan sensor yang cepat dan efisien.
Realiti
IR bukanlah penyelesaian ajaib; ia mempunyai kelemahan tersendiri. Berbeza dengan udara panas yang boleh memanaskan semua permukaan, IR memerlukan pandangan yang jelas ke arah bahan yang diproses. Jika lampu tidak dapat “melihat” bahan tersebut, maka ia tidak akan dapat memanaskannya. Anda perlu memastikan lampu diletakkan di tempat yang sesuai untuk mengelakkan kawasan sejuk.
Selain itu, IR menghasilkan haba yang sangat tinggi. Jika sistem penyejukan tidak berfungsi dengan baik, suhu di dalam mesin akan meningkat. Apabila ini berlaku, sensor akan memberikan bacaan yang tidak tepat.