Hentikan amalan memanaskan ruang vakum secara berlebihan
Sesiapa yang pernah bekerja di fasiliti pembuatan separa siap pasti akan menghadapi masalah ini. Anda perlu memanaskan wafer tersebut, tetapi pada masa yang sama, anda tidak mahu keseluruhan peralatan rosak akibat panas yang berlebihan.
Masalahnya ialah lampu IR biasa sebenarnya hanyalah mentol lampu yang memancarkan haba ke semua arah. Sebahagian besar tenaga tersebut tidak sampai ke wafer, sebaliknya terus memanaskan dinding dalaman ruang vakum. Apabila dinding-dinding tersebut menyerap haba tersebut, ia akan menyebabkan kerosakan pada komponen-komponen peralatan, serta menimbulkan risiko keselamatan kepada orang-orang yang berada berdekatan dengan mesin tersebut.
Cara untuk mengarahkan haba ke tempat yang betul
Kita boleh mengatasi masalah ini dengan menggunakan lampu IR yang dapat mengarahkan haba ke tempat yang tepat. Daripada menggunakan tiub kuarsa biasa, kita gunakan reflektor dan lapisan khas untuk mengarahkan haba ke wafer. Dengan cara ini, haba hanya akan sampai ke wafer sahaja.
Dengan cara ini, haba yang berlebihan tidak akan membahayakan dinding peralatan. Hasilnya, wafer akan mendapat haba yang mencukupi, sementara dinding peralatan tetap sejuk. Selain itu, sistem penyejukan juga tidak perlu bekerja keras.
Cabaran dan cara mengatasinya
Namun, ini bukanlah situasi di mana kita boleh “biarkan saja”. Ketepatan sangat penting di sini. Jika kedudukan lampu sedikit salah, ia akan menyebabkan kawasan tertentu pada wafer menjadi terlalu panas. Ini merupakan masalah besar bagi proses pelapisan atau pengukiran filem nipis, kerana hasilnya tidak akan sekata. Ia merupakan persoalan yang melibatkan ketepatan dalam milimeter.
Kita biasanya menggunakan lampu yang memiliki kekuatan tinggi agar proses pemanasan berlaku dengan cepat. Namun ingatlah: semakin tinggi kuasa lampu, semakin panas filamen lampu tersebut. Pastikan bekalan kuasa mampu menanggung lonjakan arus pada permulaan penggunaan lampu tersebut, tanpa menyebabkan litar terputus.
Memastikan keselamatan di tempat kerja
Pada akhirnya, ini bukan hanya soal menjimatkan bil elektrik. Ia juga berkaitan dengan keselamatan pekerja yang bekerja di sana. Apabila dinding peralatan tidak menyerap haba yang berlebihan, suhu permukaan mesin akan tetap pada tahap yang selamat untuk disentuh. Tiada siapa yang perlu risau tentang kemungkinan terbakar semasa melakukan penyelenggaraan atau menukar wafer.
Dengan cara ini, haba yang berbahaya dan tidak dapat diramalkan dapat dikawal dengan lebih baik.