Pada garis pengeluaran 300mm, sekiranya terdapat kesan air yang kecil pada permukaan wafer tersebut, ia sudah cukup untuk memusnahkan seluruh kumpulan wafer tersebut. Dengan kaedah pengeringan konvensional, kita sebenarnya bergantung pada perbezaan suhu di antara lapisan-lapisan wafer. Risiko seperti ini tidak dapat dielakkan apabila proses pengeringan dilakukan dalam skala nanometer.
Apa yang penting dalam mesin pengering ini
Mesin pengering ini mampu mencapai tahap keseragaman suhu pada tahap wafer sebanyak ±0.1°C – angka ini diukur pada permukaan wafer itu sendiri, bukan pada permukaan pemanas. Ia menggunakan penyerap inframerah berfrekuensi rendah serta saluran udara yang bebas daripada kuarsa, agar tidak ada zarah-zarah yang masuk semasa proses pengeringan berlangsung. Sistem penyumbat mekanikal dan sistem penapisan udara juga direka khusus untuk memastikan persekitaran bilik bersih berada pada tahap Class 1–100. Model termal khusus yang terdapat dalam mesin ini membantu mengimbangi beban yang ditanggung oleh wafer, sehingga proses pengeringan dapat dilakukan secara konsisten tanpa sebarang gangguan.
Mengapa ia penting dalam proses litografi dan pembungkusan
Dalam proses litografi, ketepatan ini membolehkan kawalan dimensi yang lebih baik, serta mengurangkan kecacatan akibat sisa bahan pelarut. Prestasi bahan fotoresest juga menjadi lebih konsisten antara satu kumpulan wafer dengan kumpulan wafer yang lain. Selain itu, mesin ini juga dapat mengurangkan masa yang diperlukan untuk proses pengeringan, kerana ia dapat menghilangkan kelembapan dengan efektif. Dalam proses pembungkusan pula, mesin ini dapat mencegah oksidasi setelah proses pembersihan, serta meningkatkan daya lekat bahan-bahan yang akan dibungkus.
Apa yang perlu diperhatikan semasa penggunaannya
Mesin ini sesuai dengan format FOUP standard serta antaramuka SEMI. Namun, geometri wafer dan sistem penyumbat pintu masih boleh mempengaruhi aliran udara. Adalah penting untuk melakukan ujian awal untuk menentukan suhu di pelbagai titik pada wafer, serta memastikan aliran udara sesuai dengan tekanan di bilik bersih. Setelah disetel dengan betul, mesin ini boleh beroperasi 24/7, dengan amaran pemeliharaan yang membantu mengelakkan masa henti yang tidak dijangka.