http://warm-ir-heater-supply.com/ja/tags/scr/ Recent content in SCR on Warm IR Heater Supply Co. Hugo ja Thu, 04 Jun 2026 00:38:20 +0800 http://warm-ir-heater-supply.com/ja/posts/scr-power-regulator-for-lamp/ Thu, 04 Jun 2026 00:38:20 +0800 http://warm-ir-heater-supply.com/ja/posts/scr-power-regulator-for-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-supply.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="ランプ用SCR電力調整器"></p> <h1 id="ファブフロアにおけるフォトレジストベークプロファイルはランプアレイの安定性に集約されるソフトベークの温度が05cでもずれるとcd制御に影響が出るハードベークで10cの変動があるとスカミングや残渣が発生するそこでランプ用にscrパワーレギュレータを開発しシフトをまたいで安定した温度管理を実現している">ファブフロアにおけるフォトレジストベークプロファイルは、ランプアレイの安定性に集約される。ソフトベークの温度が0.5°Cでもずれると、CD制御に影響が出る。ハードベークで1.0°Cの変動があると、スカミングや残渣が<a href="https://goldisgood.com">発生</a>する。そこで、ランプ用にSCRパワーレギュレータを<a href="https://o-yate.net">開発</a>し、シフトをまたいで安定した温度管理を実現している。</h1> <p><strong>技術的に重要なポイント</strong><br> レギュレータはシリコン制御整流器（SCR）トポロジーを採用し、クローズドループの電流検出を行っている。0.1%の電力分解能と、ランプ全体で±0.1°Cの定常状態温度均一性を提供する。対応ランプはハロゲン、石英、短波、中波、炭素繊維/NIRランプで、電圧範囲は24 Vから480 V。標準の2線式および4線式インターフェースを備え、ウェハートラックのベークプレートやキュアツールに直接組み込むことが可能である。ゼロパーティクル設計およびクラス1～100のクリーンルーム対応により、ベーク/キュアサイクル中の粒子発生を抑制する。</p>