http://warm-ir-heater-supply.com/ja/tags/%E3%82%AB%E3%82%B9%E3%82%BF%E3%83%A0/ Recent content in カスタム on Warm IR Heater Supply Co. Hugo ja Wed, 03 Jun 2026 01:10:13 +0800 http://warm-ir-heater-supply.com/ja/posts/custom-infrared-heater-for-wafer/ Wed, 03 Jun 2026 01:10:13 +0800 http://warm-ir-heater-supply.com/ja/posts/custom-infrared-heater-for-wafer/ <p><img src="http://warm-ir-heater-supply.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="ウェーハ用カスタム赤外線ヒーター"></p> <p>24時間稼働のファブフロアでは、ベーク温度のわずかな変動や粒子のスパイクが単なるグラフ上の線として現れるだけでなく、多数のウェハを廃棄する原因となる。ウェハ処理においては、フォトレジストのソフトベークおよびハードベーク中の熱的逸脱に対して一切の余裕がない。そこで当社では、サイクルごとに熱プロファイルを安定して保持するためのカスタム赤外線ヒーターを開発した。</p>