オーブン on Warm IR Heater Supply Co.

ファブオーブン用クォーツヒーターチューブ

Fri, 03 Jul 2026 02:45:42 +0800

製造現場では、ソフトベイクの際の熱的なドリフトや、乾燥室内の局所的な低温領域が、必要な温度管理を妨げてしまいます。その結果、ウェハがクリーンルームを出る前から歩留まりが低下してしまいます。私たちは、このような問題を防ぐために、石英ヒーターチューブを特別に設計しました。つまり、過程が要求する温度を維持するのです。ヒーター自体が定着する場所ではなく、プロセスが要求する場所で温度を維持するのです。

クリーンルーム用オーブン・赤外線ヒーター

Thu, 02 Jul 2026 02:43:55 +0800

製造現場では、わずか1.2℃の温度変動だけで、本来は規格内にあるべきフォトレジストの特性が台無しになってしまうことがあります。そうした問題を解決するために、私たちはクリーンルーム用の赤外線ヒーターを開発しました。これは、半導体製造の現実的な要件に合わせて設計されており、限られた熱エネルギーの中で、粒子数を数桁に抑える必要があります。

実際に重要なのは何か 私たちは、応答速度が速く、スペクトル制御も精密な短波長赤外線放射体を使用しているため、ウェハ全体の温度を±0.1℃以内に保つことができます。温度の再現性も同じレベルを維持し続けるため、リソグラフィー工程中でも重要な寸法を安定させることができます。この装置はクリーンルーム向けに設計されており、密閉型の放射体構造や低発塵性の材料を採用しているため、クラス1～100の環境下でも粒子数が増加することはありません。24時間365日安定して動作し、予期せぬ停止もありません。また、大量の熱を加えないため、従来のホットプレートよりもエネルギー効率が高いです。

真空オーブン加熱素子製造

Tue, 09 Jun 2026 00:48:52 +0800

ファブフロアでは、ソフトベークおよびハードベークは単なる加熱工程ではなく、歩留まりの門番である。0.5℃のずれがCD制御を破壊し、粒子のスパイクが大きな損失を招く。真空炉の加熱素子は、低圧下で安定した熱を保持し、発ガスや汚染を生じさせてはならない。