きれい on Warm IR Heater Supply Co.

クリーンルーム機器の更新が工場で行われている

Tue, 14 Jul 2026 12:07:21 +0800

ウェーハ製造工程で熱を無駄にしないようにしましょう。
正直に言って、ウェーハ製造工程でエネルギーが無駄になるのは、単にコスト面での問題だけではありません。それは汚染のリスクにもつながります。
高出力の加熱素子を使うと、その赤外線エネルギーの大部分が単に失われてしまいます。つまり、エネルギーは対象物から放散されてしまい、空間に消えてしまうのです。これを解決するために、金でコーティングされた反射板を使用します。高純度の金膜でチャンバー内を覆うことで、すべての熱を再びウェーハに戻すことができます。

クリーンルーム用ベンチ赤外線ランプ

Sun, 12 Jul 2026 05:29:27 +0800

なぜクリーンルームでIRランプを使用するのか？クリーンルーム内での乾燥や硬化処理において、従来の対流式オーブンでは不十分です。特に、今では「無鉛」や「環境に優しい」という基準が求められているためです。単に化学物質を変えるだけではなく、実際に熱を部品にどう伝えるかが重要です。

クリーンルーム用オーブン・赤外線ヒーター

Thu, 02 Jul 2026 02:43:55 +0800

製造現場では、わずか1.2℃の温度変動だけで、本来は規格内にあるべきフォトレジストの特性が台無しになってしまうことがあります。そうした問題を解決するために、私たちはクリーンルーム用の赤外線ヒーターを開発しました。これは、半導体製造の現実的な要件に合わせて設計されており、限られた熱エネルギーの中で、粒子数を数桁に抑える必要があります。

実際に重要なのは何か 私たちは、応答速度が速く、スペクトル制御も精密な短波長赤外線放射体を使用しているため、ウェハ全体の温度を±0.1℃以内に保つことができます。温度の再現性も同じレベルを維持し続けるため、リソグラフィー工程中でも重要な寸法を安定させることができます。この装置はクリーンルーム向けに設計されており、密閉型の放射体構造や低発塵性の材料を採用しているため、クラス1～100の環境下でも粒子数が増加することはありません。24時間365日安定して動作し、予期せぬ停止もありません。また、大量の熱を加えないため、従来のホットプレートよりもエネルギー効率が高いです。