Fermate le vostre lampade a radiazioni infrarosse dal surriscaldare l’intera macchina
Se le radiazioni infrarosse si diffondono all’interno del telaio della macchina, c’è un problema di progettazione. Punto e basta.
Quando si utilizzano lampade a alta potenza, quelle radiazioni non rimangono confinate sul wafer: si diffondono ovunque. Se non si controlla dove va quel calore, le pareti interne della macchina assorbono tutto il calore prodotto. In breve tempo, l’esterno della macchina diventa così caldo da poter ustionare le persone presenti, mentre i ventilatori devono lavorare al massimo per mantenere la temperatura sotto controllo.
Portate il calore dove deve essere
Il trucco è abbinare la sorgente di radiazioni infrarosse a un riflettore che sappia effettivamente svolgere il proprio compito.
Una lampada standard emette radiazioni in tutte le direzioni, ovvero a 360 gradi. Utilizzando un riflettore parabolico o ellittico, si fa in modo che i fotoni colpiscano esclusivamente il wafer. Non si tratta soltanto di accelerare il processo, ma anche di contenere il calore. In questo modo si evita che il calore “disperso” danneggi il contenitore esterno della macchina.
I materiali sono importanti
Di solito si utilizzano materiali rivestiti d’oro o alluminio ad alta purezza. L’oro è il materiale ideale, poiché riflette le radiazioni infrarosse in modo eccezionale.
Se il riflettore assorbe troppo calore, potrebbe deformarsi o ossidarsi. In tal caso, il punto focale cambia, e sul wafer compaiono delle “zone fredde”. È quindi necessario prestare attenzione alle tolleranze: anche un piccolo squilibrio può far deviare il fascio di luce di alcuni millimetri. Questo può rovinare il processo di trattamento e far surriscaldare nuovamente le pareti della macchina.
Consigli pratici per l’installazione
Quando installate queste lampade, assicuratevi che i riflettori siano fissati correttamente, grazie a supporti resistenti alle vibrazioni.
Gli ambienti di produzione sono rumorosi: le macchine emettono rumori continui. Se la lampada si sposta anche di poco, il fascio di luce si sposta anch’esso. Utilizzate quindi supporti rigidi per mantenere tutto al suo posto.
Un ultimo consiglio: ricordate che aumentare la densità termica vicino al wafer significa che l’ultima parte della lampada si surriscalda. Assicuratevi che il sistema di raffreddamento sia in grado di gestire quel calore, altrimenti potreste danneggiare l’alimentatore elettrico.