Nel ambiente di lavorazione a livello di wafer, si impara molto in fretta: un cambiamento di temperatura di 1°C durante il processo di essiccazione del fotoresist può distruggere l’intera produzione di 300 mm. L’uniformità della temperatura non è soltanto una metrica importante, ma rappresenta il fattore cruciale per ottenere risultati di qualità o per dover buttare via i prodotti difettosi. Abbiamo progettato i nostri tubi termici a infrarossi per garantire questa uniformità.
Cosa è importante dal punto di vista tecnico Utilizziamo emettitori a onde corte a infrarossi, racchiusi in un involucro di quarzo. La risposta degli emettitori è rapida, e la potenza radiante rimane costante. Nella zona riscaldata, l’uniformità della temperatura è di ±0,1°C; inoltre, la ripetibilità dei risultati viene monitorata per ogni lotto, non solo giornalmente. Questi tubi non emettono particelle, quindi il numero di particelle presenti nella sala pulita rimane entro i limiti previsti per la classe 1–100.
Prevediamo una durata di vita superiore a 5.000 ore, con una diminuzione della potenza emessa inferiore al 5%. Ciò significa meno sostituzioni improvvise e meno tempi di fermo macchina.
Perché funziona durante il processo di essiccazione I processi di essiccazione “soft” e “hard” determinano le caratteristiche del fotoresist, influenzando così il controllo dello spessore delle linee. Con questi tubi, il substrato viene riscaldato direttamente, riducendo così i ritardi termici e eliminando quei gradienti di temperatura che causano difetti ai bordi del substrato.
I vantaggi sono una maggiore uniformità dello spessore delle linee, meno necessità di rifacimenti e una stabilità termica nel tempo. Inoltre, si riduce anche il consumo di energia, poiché gli emettitori raggiungono rapidamente la temperatura desiderata e la mantengono costante, evitando così uno spreco di energia inutilizzato.
Cosa è necessario fare per ottenere buoni risultati L’installazione richiede una precisa allineamento ottico e l’uso di riflettori appropriati per mantenere il flusso radiante dove è necessario. I tubi possono essere collegati agli impianti semiconduttori standard, ma è necessario progettare correttamente il sistema di riscaldamento per evitare squilibri termici.
È importante mantenere la tensione entro i valori specificati: eventuali deviazioni accelerano lo stress sui tubi e possono alterare la lunghezza d’onda, influenzando così l’assorbimento del fotoresist. Inoltre, è fondamentale pianificare cicli di raffreddamento controllati, per proteggere il quarzo e mantenere la stabilità a lungo termine.