FOUP (Front Opening Unified Pod) – Alat pengering

Sun, 28 Jun 2026 01:10:11 +0800

Pada garis produksi 300 mm, cukup satu saja FOUP yang keluar dari mesin pengering dengan bekas air di permukaannya untuk membuat seluruh produk menjadi tidak layak digunakan. Dengan metode pengeringan konvensional, kita sebenarnya sedang berjudi pada perbedaan suhu di antara lapisan-lapisan wafer tersebut. Risiko semacam itu tidak dapat diterima ketika proses pengeringan dilakukan pada skala nanometer.

Yang penting dalam proses pengeringan ini Mesin pengering ini mampu mencapai tingkat keseragaman suhu hingga ±0,1°C—diukur pada permukaan wafer, bukan pada permukaan pemanasnya. Mesin ini menggunakan emitor inframerah berfrekuensi rendah serta saluran udara bebas kuarsa, sehingga tidak ada partikel yang masuk ke dalam wafer saat proses pengeringan berlangsung. Sistem penutup mekanis dan sistem filtrasi udara dirancang sedemikian rupa agar lingkungan di dalam ruang bersih tetap berada dalam kategori Class 1–100. Model termal khusus yang tersedia memungkinkan proses pengeringan berjalan secara konsisten, tanpa adanya penyimpangan suhu.

Pembukaan on Warm IR Heater Supply Co.

FOUP (Front Opening Unified Pod) – Alat pengering