Hentikan kerusakan wafer akibat ledakan lampu
Di stasiun pembersihan semikonduktor, ledakan lampu bukan sekadar masalah kecil atau gangguan operasional yang ringan. Itu merupakan bencana yang serius.
Ketika tabung kuarsa pecah akibat beban berat, potongan kaca dan filamen tungsten akan jatuh tepat di atas wafer tersebut. Dengan demikian, seluruh produksi wafer akan hancur. Kami merancang lampu IR tahan air khusus agar hal ini tidak terjadi.
Mengapa lampu tersebut rusak?
Lingkungan pembersihan sangat ekstrem. Sumber panas berdaya tinggi berada sangat dekat dengan semprotan air. Perubahan suhu yang drastis juga dapat menyebabkan tabung kuarsa pecah. Untuk mencegah hal ini, kami membungkus elemen lampu dengan lapisan pelindung tahan air yang memiliki ujung-ujung yang tertutup rapat. Hal ini memastikan bahwa air dan panas tidak bisa menembus lapisan pelindung tersebut.
Mengendalikan kotoran di dalam lampu
Kami tidak hanya menutup ujung-ujung lampu saja. Kami juga berusaha mengendalikan kotoran yang mungkin masuk ke dalam lampu. Jika filamen lampu rusak atau tabungnya pecah, lapisan pelindung akan menangkap semua kotoran tersebut. Anda tidak perlu khawatir tentang potongan kaca yang mungkin masuk ke dalam wafer.
Karena kami menggunakan bahan berkualitas tinggi untuk lapisan pelindung tersebut, panas masih bisa menembusnya. Dengan demikian, suhu permukaan tetap terkontrol tanpa mengganggu proses pembersihan semikonduktor.
Kompromi yang harus diterima
Tidak ada yang sempurna. Penambahan lapisan pelindung memang menyebabkan sedikit keterlambatan dalam proses pemanasan. Anda perlu menyesuaikan pengaturan PID agar suhu permukaan tetap stabil.
Satu hal lagi: perhatikan kondisi segel pada lampu tersebut. Kami menyarankan untuk memeriksanya setiap 500 jam. Jika segel mulai rusak, kelembapan akan masuk ke dalam lampu, dan risiko kerusakan akibat benturan termal akan kembali muncul. Selain itu, gunakan kabel berkekuatan tinggi agar konektor tidak meleleh saat suhu meningkat.