Berhentilah membuang waktu menunggu udara menjadi panas
Jika Anda masih menggunakan sistem pemanasan udara panas untuk proses pengolahan semikonduktor, berarti Anda sebenarnya membayar “biaya tambahan” berupa pemborosan waktu. Bayangkan saja: Anda memanaskan udara terlebih dahulu, lalu berharap udara tersebut dapat memanaskan wafer. Prosesnya sangat lambat.
Pemanasan dengan sinar inframerah menghilangkan kebutuhan akan “perantara” tersebut. Energi dikirim langsung ke substrat, tanpa perlu menunggu.
Mengapa hal ini penting?
Ketika menggunakan udara panas, Anda harus melawan inersia termal. Anda perlu menunggu hingga suhu udara mencapai tingkat tertentu sebelum benda kerja bisa merasakan efek pemanasan. Prosesnya sangat lambat.
Lampu inframerah berbeda. Ia dapat mencapai suhu target secara instan. Dengan demikian, waktu yang diperlukan untuk memanaskan benda kerja berkurang dari menit menjadi detik. Dengan begitu, seluruh proses produksi menjadi lebih efisien. Anda tidak perlu menggunakan banyak stasiun untuk mencapai target produksi yang diinginkan—Anda bisa melakukan lebih banyak hal dengan ruang yang lebih sedikit.
Masalah “Jangan sampai wafer rusak”
Kecepatan memang penting, tetapi jika suhu melebihi batas yang ditentukan, maka sekelompok wafer akan rusak. Itu merupakan situasi yang sangat menyebalkan.
Untuk mengendalikan hal ini, kita gunakan termokopel berkepresisi tinggi bersama lampu inframerah. Hal ini menciptakan sistem umpan balik yang memungkinkan pemanas untuk menyesuaikan intensitas pemanasan secara tepat pada waktunya.
Namun, ada satu syarat: sensor yang digunakan harus secepat pemanasnya. Jika Anda menggunakan sensor yang berukuran besar dan memiliki waktu respons yang lambat, lampu akan terus memanaskan benda kerja meskipun suhunya sudah mencapai batas maksimal. Anda membutuhkan sensor yang ringan dan cepat.
Realitasnya…
Sinar inframerah bukanlah solusi ajaib; ia memiliki keterbatasan tersendiri. Berbeda dengan udara panas yang dapat memanaskan segala sesuatu di sekitarnya, sinar inframerah membutuhkan pandangan yang jelas ke arah benda yang akan dipanaskan. Jika lampu tidak dapat “melihat” benda tersebut, maka benda tersebut tidak akan dipanaskan. Anda perlu memastikan posisi lampu tepat agar tidak ada area dingin yang muncul.
Selain itu, sinar inframerah menghasilkan panas yang sangat tinggi. Jika ventilasi alat tidak baik, suhu di dalam mesin akan naik. Dan ketika itu terjadi, sensor akan memberikan data yang salah.