Hentikan kebiasaan memanaskan ruang vakum tersebut secara berlebihan
Siapa pun yang pernah bekerja di fasilitas semi-fabrikasi pasti mengerti betapa sulitnya hal ini. Anda perlu memanaskan wafer tersebut, tetapi Anda tidak ingin peralatan tersebut ikut terpanasi secara tidak sengaja.
Masalahnya adalah: lampu IR standar pada dasarnya merupakan bohlam yang memiliki daya panas yang sangat tinggi. Cahaya panas yang dihasilkan tersebar ke segala arah. Sebagian besar energi tersebut justru mengenai dinding-dinding dalam ruang vakum tersebut.
Ketika dinding-dinding tersebut menyerap semua panas tersebut, situasinya akan menjadi kacau. Hal ini dapat menyebabkan kerusakan pada komponen-komponen tertentu, serta membahayakan keselamatan orang-orang yang berada di dekat mesin tersebut.
Mengarahkan Panas ke Tempat yang Tepat
Untuk mengatasi masalah ini, kita menggunakan lampu IR yang dirancang untuk mengarahkan panas ke tempat yang tepat. Alih-alih hanya menggunakan tabung kuarsa biasa, kita menggunakan reflektor dan lapisan khusus untuk mengarahkan energi tersebut tepat ke wafer. Dengan cara ini, panas hanya akan sampai ke wafer saja.
Dengan demikian, energi yang “terbuang” tidak akan merusak bagian lain dari mesin. Hasilnya, wafer akan mendapatkan panas yang dibutuhkannya, sementara dinding-dinding mesin tetap dingin. Selain itu, sistem pendinginan pun tidak perlu bekerja keras.
Kendala yang Harus Dihadapi (dan Cara Mengatasinya)
Hal ini bukanlah sesuatu yang bisa dibiarkan begitu saja. Ketepatan sangat penting di sini. Jika posisi lampu sedikit saja salah, maka akan terjadi titik-titik panas pada wafer. Hal ini tentu akan merusak proses deposisi atau etching film tipis, karena hasilnya tidak akan seragam. Semua bergantung pada ketelitian dalam penyesuaian posisi lampu.
Kita biasanya menggunakan lampu dengan daya tinggi agar proses pemanasan berlangsung lebih cepat. Namun, ingatlah bahwa semakin tinggi dayanya, semakin panas pula filamen lampu tersebut. Pastikan suplai listrik mampu menahan lonjakan arus saat mesin mulai beroperasi, agar saklar tidak mati.
Melindungi Keselamatan Petugas Di Tempat Kerja
Pada akhirnya, hal ini bukan hanya soal menghemat biaya listrik. Yang lebih penting adalah keselamatan para petugas yang bekerja di sana. Jika dinding-dinding ruang vakum tidak menyerap radiasi berlebihan, maka suhu di luar mesin akan tetap rendah sehingga aman untuk disentuh. Dengan demikian, tidak perlu khawatir akan terjadinya luka bakar saat melakukan perawatan atau mengganti wafer.
Dengan cara ini, panas yang berbahaya dan tak terkendali dapat dikendalikan dengan baik.