इन्फ्रारेड के द्वारा MEMS वेफरों को सुखाना MEMS सेंसर वेफरों को सुखाते समय एक संतुलन बनाए रखना आवश्यक है। वेफरों में मौजूद नमी को तो हटाना ही होता...

200 मिमी आकार के वेफरों के मामले में, सफाई के बाद सुखाने की प्रक्रिया केवल निष्क्रिय समय ही नहीं है; बल्कि इसी प्रक्रिया में सतही तनाव, शेष घुलनशील...