साफ़ on Warm IR Heater Supply Co.

क्लीन रूम उपकरणों में सुधार/अपग्रेड

Tue, 14 Jul 2026 12:07:21 +0800

वेफर निर्माण प्रक्रिया में अपनी ऊर्जा को बर्बाद न करें।

ईमानदारी से कहें तो, वेफर निर्माण प्रक्रिया में ऊर्जा का अपव्यय न केवल आर्थिक नुकसान है, बल्कि यह संदूषण का भी कारण बन सकता है।
जब हम उच्च-शक्ति वाले हीटिंग तत्वों का उपयोग करते हैं, तो उस इन्फ्रारेड ऊर्जा का एक बड़ा हिस्सा बस व्यर्थ ही चला जाता है। ऐसी स्थिति में हम सोने से बने रिफ्लेक्टरों का उपयोग करते हैं। उच्च-शुद्धता वाली सोने की परतों का उपयोग करके हम उस ऊर्जा को वापस वेफर पर ही भेज देते हैं।
सोना क्यों?
क्योंकि सोना इन्फ्रारेड ऊर्जा को परावर्तित करने में बेहतरीन है। सामान्य एल्यूमिनियम या पॉलिश्ड स्टील ऐसा नहीं कर सकते; इनसे बहुत सारी ऊर्जा बाहर चली जाती है। वहीं, सोना 98% तक ऊर्जा को वापस परावर्तित करता है। इससे आपके लैंपों से निकलने वाली हर ऊर्जा सीधे सिलिकॉन पर ही पड़ती है। इससे तापमान नियंत्रित रहता है, एवं उत्पादन प्रक्रिया भी तेज हो जाती है।
लेकिन…
जब हम इतनी अधिक ऊर्जा को एक छोटे स्थान में केंद्रित करते हैं, तो वहाँ गंभीर तापमान स्थितियाँ उत्पन्न हो जाती हैं। ऐसी स्थिति में आपको यह सुनिश्चित करना होगा कि आपकी कूलिंग प्रणाली उस अतिरिक्त ऊर्जा को संभाल सके। यदि कूलिंग प्रणाली कमजोर है, तो उत्पादों में दोष उत्पन्न हो जाएँगे… और कोई भी ऐसी स्थिति से निपटना नहीं चाहेगा।
इसे अपनी प्रणाली में लागू करना
हमने इन रिफ्लेक्टरों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि इन्हें बिना किसी परिवर्तन के ही उपयोग में लाया जा सके। आपको अपनी पावर रैकों को तोड़ने या पूरी प्रणाली को फिर से व्यवस्थित करने की आवश्यकता नहीं है। हम केवल ऑप्टिकल पथ पर ही ध्यान देते हैं।
एक चेतावनी…
ध्यान रखें कि ऐसी परतें रासायनिक वाष्पों से क्षतिग्रस्त हो सकती हैं। नियमित रूप से सफाई करना आवश्यक है। यदि ऑक्सीकरण या अन्य अवशेष जम जाएँ, तो रिफ्लेक्टरों की क्षमता कम हो जाएगी… ऐसी स्थिति में लैंपों को अधिक ऊर्जा खर्च करनी होगी।
यह तो बस सोच में थोड़ा बदलाव है… वोल्टेज बढ़ाने के बजाय, ऊर्जा को सही दिशा में ही भेजना आवश्यक है। ऐसा करने से पावर सप्लाई आसानी से काम करेगी, एवं पूरे वेफर पर तापमान स्थिर रहेगा।

क्लीन रूम बेंच इन्फ्रारेड लैंप

Sun, 12 Jul 2026 05:29:26 +0800

क्यों हम क्लीनरूम में IR लैंपों का उपयोग करते हैं?

क्लीनरूम में वस्तुओं को सूखाने/सुखाने हेतु पारंपरिक ओवनों का उपयोग आमतौर पर पर्याप्त नहीं होता। खासकर अब, जब सभी “लीड-फ्री” एवं “ग्रीन” मानकों की ओर बढ़ रहे हैं। यहाँ मामला सिर्फ रसायनों को बदलने तक ही सीमित नहीं है; बल्कि ऊर्जा को वस्तुओं तक कैसे पहुँचाया जाए, यह भी महत्वपूर्ण है।

IR बनाम हॉट एयर

एक सामान्य ओवन के बारे में सोचें… वास्तव में ऐसे ओवनों में हवा एवं धातु की दीवारों को गर्म किया जाता है, जिससे वेफर पर कोई प्रभाव ही नहीं पड़ता। यह समय एवं ऊर्जा की बर्बादी है।
IR लैंप अलग हैं… ये विकिरण द्वारा ऊर्जा प्रदान करते हैं; इससे ऊर्जा सीधे ही वस्तुओं तक पहुँच जाती है। इसमें कोई हवा का उपयोग नहीं होता… न ही कोई भारी इंसुलेशन की आवश्यकता होती है… और ऊर्जा की खपत भी कम होती है।

क्लीन रूम ओवन – इन्फ्रारेड हीटर

Thu, 02 Jul 2026 02:43:55 +0800

फैब फ्लोर पर, 1.2°C जितनी ही मामूली तापमान-परिवर्तन भी फोटोरेसिस्ट सामग्री के गुणधर्मों को खराब कर सकता है। हमने ऐसी स्थितियों से निपटने हेतु क्लीनरूम-उपयुक्त इन्फ्रारेड हीटर विकसित किए हैं। ये हीटर अर्धचालक निर्माण प्रक्रियाओं की वास्तविकताओं के अनुकूल हैं; क्योंकि वहाँ तापमान नियंत्रित होना आवश्यक है, एवं कणों की संख्या भी कम ही होनी चाहिए।

वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हम ऐसे शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटरों का उपयोग करते हैं, जो तेज़ गति से कार्य करते हैं, एवं जिनका स्पेक्ट्रल नियंत्रण भी बेहतरीन है। इससे वेफर की सतह पर तापमान को ±0.1°C के भीतर ही रखा जा सकता है। प्रत्येक चक्र में तापमान की स्थिरता बनी रहती है, जिससे लिथोग्राफी के दौरान आवश्यक आयाम स्थिर रहते हैं। यह डिज़ाइन क्लीनरूम-उपयुक्त है – सील्ड एमिटर संरचना एवं कम गैस-निकास वाली सामग्रियों के कारण कणों की संख्या नियंत्रित रहती है, यहाँ तक कि क्लास 1–100 जैसे वातावरण में भी। इससे 24/7 विश्वसनीयता प्राप्त होती है, एवं ऊर्जा-खपत भी कम रहती है।