ओवन on Warm IR Heater Supply Co.

फैब ओवन के लिए क्वार्ट्ज हीटर ट्यूब

Fri, 03 Jul 2026 02:45:42 +0800

फैब्रिकेशन फ्लोर पर, सॉफ्ट बेकिंग के दौरान होने वाला थर्मल ड्रिफ्ट, या ड्रायिंग चैंबर में मौजूद “कोल्ड स्पॉट”ों के कारण थर्मल बजट प्रभावित हो जाता है। यह समस्या तब ही शुरू हो जाती है, जब उत्पाद क्लीनरूम से बाहर निकलने से पहले ही। हमने ऐसी स्थितियों को रोकने हेतु क्वार्ट्ज हीटर ट्यूबों का उपयोग किया – ताकि तापमान उसी स्तर पर बना रहे, जिसकी प्रक्रिया में आवश्यकता है, न कि उस स्तर पर, जहाँ हीटर स्थित है।

क्लीन रूम ओवन – इन्फ्रारेड हीटर

Thu, 02 Jul 2026 02:43:55 +0800

फैब फ्लोर पर, 1.2°C जितनी ही मामूली तापमान-परिवर्तन भी फोटोरेसिस्ट सामग्री के गुणधर्मों को खराब कर सकता है। हमने ऐसी स्थितियों से निपटने हेतु क्लीनरूम-उपयुक्त इन्फ्रारेड हीटर विकसित किए हैं। ये हीटर अर्धचालक निर्माण प्रक्रियाओं की वास्तविकताओं के अनुकूल हैं; क्योंकि वहाँ तापमान नियंत्रित होना आवश्यक है, एवं कणों की संख्या भी कम ही होनी चाहिए।

वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हम ऐसे शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटरों का उपयोग करते हैं, जो तेज़ गति से कार्य करते हैं, एवं जिनका स्पेक्ट्रल नियंत्रण भी बेहतरीन है। इससे वेफर की सतह पर तापमान को ±0.1°C के भीतर ही रखा जा सकता है। प्रत्येक चक्र में तापमान की स्थिरता बनी रहती है, जिससे लिथोग्राफी के दौरान आवश्यक आयाम स्थिर रहते हैं। यह डिज़ाइन क्लीनरूम-उपयुक्त है – सील्ड एमिटर संरचना एवं कम गैस-निकास वाली सामग्रियों के कारण कणों की संख्या नियंत्रित रहती है, यहाँ तक कि क्लास 1–100 जैसे वातावरण में भी। इससे 24/7 विश्वसनीयता प्राप्त होती है, एवं ऊर्जा-खपत भी कम रहती है।

वैक्यूम ओवन हीटिंग एलिमेंट फेब

Tue, 09 Jun 2026 00:48:52 +0800

फैब फ्लोर पर, सॉफ्ट बेक और हार्ड बेक केवल थर्मल चरण नहीं हैं—ये यील्ड गेट हैं। 0.5°C का डिफ्ट CD नियंत्रण को खराब कर देगा, और पार्टिकल स्पाइक बहुत नुकसान पहुंचा सकता है। वैक्यूम ओवन हीटिंग एलिमेंट को कम दबाव में स्थिर तापमान बनाए रखना होता है बिना आउटगैसिंग या संदूषण बढ़ाए।

इलिमेंट्स से हमें वास्तव में जो चाहिए
हम वैक्यूम ओवन हीटिंग एलिमेंट को दोहराए जाने वाले तापमान वितरण के आधार पर डिजाइन करते हैं: चैम्बर में ±0.1°C की समानता, शॉर्ट बेक विंडो को पूरा करने के लिए तेज थर्मल रिस्पांस, और कणों की संख्या कम रखने के लिए कम आउटगैसिंग सामग्री। क्वार्ट्ज या सिरेमिक आधारित एलिमेंट साफ-सुथरा, पूर्वानुमेय रेडियंट हीट प्रदान करते हैं, जो वैक्यूम नियंत्रण के साथ मिलकर वेफर स्तर के थर्मल बजट को स्थिर करता है। स्पेसिफिकेशन टूल एनवेलोप के अनुरूप होते हैं—स्टैंडर्ड वोल्टेज, कॉम्पैक्ट फॉर्म फैक्टर, और ऐसे टर्मिनल जो थर्मल साइकलिंग के दौरान मजबूती बनाए रखते हैं।