फैब फ्लोर पर, 1.2°C जितनी ही मामूली तापमान-परिवर्तन भी फोटोरेसिस्ट सामग्री के गुणधर्मों को खराब कर सकता है। हमने ऐसी स्थितियों से निपटने हेतु क्लीनरूम-उपयुक्त इन्फ्रारेड हीटर विकसित किए हैं। ये हीटर अर्धचालक निर्माण प्रक्रियाओं की वास्तविकताओं के अनुकूल हैं; क्योंकि वहाँ तापमान नियंत्रित होना आवश्यक है, एवं कणों की संख्या भी कम ही होनी चाहिए।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हम ऐसे शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटरों का उपयोग करते हैं, जो तेज़ गति से कार्य करते हैं, एवं जिनका स्पेक्ट्रल नियंत्रण भी बेहतरीन है। इससे वेफर की सतह पर तापमान को ±0.1°C के भीतर ही रखा जा सकता है। प्रत्येक चक्र में तापमान की स्थिरता बनी रहती है, जिससे लिथोग्राफी के दौरान आवश्यक आयाम स्थिर रहते हैं। यह डिज़ाइन क्लीनरूम-उपयुक्त है – सील्ड एमिटर संरचना एवं कम गैस-निकास वाली सामग्रियों के कारण कणों की संख्या नियंत्रित रहती है, यहाँ तक कि क्लास 1–100 जैसे वातावरण में भी। इससे 24/7 विश्वसनीयता प्राप्त होती है, एवं ऊर्जा-खपत भी कम रहती है।
फोटोरेसिस्ट प्रसंस्करण में “तापमान बढ़ाना” ही उद्देश्य नहीं है… यह तो एक सटीक तापीय प्रक्रिया है। इस हीटर की मदद से तापमान को तेज़ी से बढ़ाया जा सकता है, फिर उसे स्थिर रखा जा सकता है… एवं अंत में उसे धीरे-धीरे कम किया जा सकता है। इससे घोलों का सही तरीके से निष्कासन होता है, फिल्म की मोटाई स्थिर रहती है, एवं CD मान भी नियंत्रित रहता है।
आपको तापीय प्रदर्शन एवं संदूषण-नियंत्रण में से किसी एक का चयन करने की आवश्यकता नहीं है… क्लीनरूम-उपयुक्तता इस डिज़ाइन में ही शामिल है… इससे प्रक्रिया आसान हो जाती है, पुनर्कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है, एवं उत्पादन-दर भी बेहतर हो जाती है… बिना रासायनिक प्रक्रियाओं या समय-नियंत्रण में कोई बदलाव किए।
खरीदने से पहले कुछ महत्वपूर्ण बातें:
इस हीटर की स्थापना हेतु बेक चैंबर की ज्यामिति को ध्यान में रखना आवश्यक है… एवं एमिटरों की स्थिति को भी वेफर के मार्ग के अनुकूल ही रखना होगा… यदि आप इसे पुराने उपकरणों में लगाना चाहते हैं, तो थोड़ा पुनर्व्यवस्थित करना होगा। यह उपकरण तभी ही अपने निर्धारित मानकों को पूरा कर पाता है, जब वायु-प्रवाह, निकास एवं रिफ्लेक्टरों की स्वच्छता उचित तरीके से ही संभाली जाए।
एक अलग विद्युत-परिपथ की व्यवस्था करें… एवं स्थानीय वोल्टेज की सीमाओं की जाँच भी आवश्यक है… वोल्टेज में उतार-चढ़ाव से तापमान-नियंत्रण प्रभावित हो सकता है। हम नियंत्रक-इंटरफेस भी प्रदान करते हैं… ताकि इसका एकीकरण आसान एवं दोहराया जा सके।